MTI  |  SKU: VBF1200XV9

Forno a vuoto verticale 1100C Max con flangia (camera al quarzo da 8" OD) - VBF-1200X-V9

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Forno a vuoto verticale 1100C Max con flangia (camera al quarzo da 8" OD) - VBF-1200X-V9

MTI

Il VBF-1200X-V9 è un forno verticale a vuoto. È dotato di una camera con tubo in quarzo di dimensioni Ø200ר190×H425 mm, con flangia e valvole in acciaio inossidabile, in grado di raggiungere un vuoto di 10⁻ via Torr grazie a una pompa turbo. È progettato per la calcinazione o il ricottura di wafer semiconduttori (fino a 8") sotto vuoto o in varie altre atmosfere gassose, con temperature fino a 1100 °C. 

SPECIFICHE

Alimentazione

  • Tensione: monofase 208 - 240 V CA / 50/60 Hz, (interruttore da 25 A installato)
  • 3 kW max. 
  • Nota: cavo di alimentazione incluso ma senza spina. Si prega di installare una spina autonomamente oppure di cliccare sul link sotto l’immagine per scegliere una spina in base al proprio paese o alle esigenze del proprio laboratorio


Temperatura di esercizio

  • <1100 °C a pressione ambiente

  • <1000 °C sotto vuoto
  • Il tubo di quarzo GE214 è disponibile per una temperatura di esercizio di 1150 °C a un costo aggiuntivo.

Velocità di riscaldamento

  • <20 °C/min
  • Consigliata: 10 °C/min

Elementi riscaldanti    

  • Filo resistivo Ni-Cr-Al

Tubo al quarzo e riscaldamento effettivo    

  • Dimensioni del tubo: Ø200ר190×H425 mm

  • Carico massimo: 40 kg
  • Area di riscaldamento Ø240×H245 mm
Flangia per vuoto

  • Flangia per vuoto in acciaio inossidabile con doppio O-ring in silicone per alte temperature e camicia di raffreddamento ad acqua
  • Un ingresso gas da 1/4 e un'uscita gas con valvole a spillo. 
  • È fornito un blocco refrattario in schiuma di Al₂O₃ forato (190 di径 x 50 mm)
  • È integrata una porta K25 per il collegamento alla pompa a vuoto
  • Manometro meccanico per vuoto (incluso come accessorio standard), con intervallo di misura da -0,1 a 0,15 MPa
Raffreddamento ad acqua

  • All'interno della flangia è stata integrata una camicia di raffreddamento ad acqua per proteggere il gruppo di tenuta sottovuoto dalla fusione a temperature superiori a 200 °C. È necessaria una portata d'acqua di 16 L/min.
Regolatore di temperatura

     
  • È incluso un regolatore di temperatura digitale certificato NRTL
  • Controllo proporzionale-integrale-derivativo (controllo PID) e funzione di autoregolazione
  • 30 segmenti programmabili con fasi di rampa, raffreddamento e mantenimento
  • Allarme di sovratemperatura e allarme di guasto della termocoppia integrati
  • Precisione di regolazione della temperatura di +/- 1 ºC
  • Porta di comunicazione DB9 predefinita inclusa per il collegamento al PC
  • Il regolatore di temperatura Eurotherm è disponibile a un costo aggiuntivo con una precisione di +/-0,1 °C

Opzioni
   



Pressione del vuoto





  • Il livello di vuoto dipende dalla pompa a vuoto utilizzata, dai tubi collegati, dai materiali dei blocchi refrattari interni, ecc. Utilizzando KFD25, tubi in acciaio inossidabile, la pompa meccanica a due stadi di MTI e la valvola a sfera KF25, il forno può raggiungere livelli di vuoto inferiori a:
    • 10-2 torr tramite pompa meccanica entro 30 minuti senza blocco termico
    • 10⁻⁵ torr tramite pompa turbo entro 30 minuti con il blocco termico in quarzo a 900 °C
  • Opzionale: 
    • La pompa per vuoto e i tubi non sono inclusi; cliccare sull’immagine 1 per ordinarli
    • Per raggiungere un livello di vuoto più elevato, è necessaria una stazione con pompa turbo. (cliccare sull’immagine 2)
    • È disponibile un O-ring di tenuta di ricambio a un costo aggiuntivo (fare clic sull’immagine 3)
    •  Valvola ad angolo retto KF25 per il collegamento rapido al soffietto KF25 (cliccare sull’immagine 4)
       Fig. 1 Fig. 2 Fig. 3 Fig. 4

Opzioni

È possibile scegliere un miscelatore di gas per erogare più gas con controllo della composizione e della portata (clicca sulle immagini sottostanti per ordinarli separatamente).
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Conformità
  

  • Certificato CE
  • La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo.

    Avviso  


    Clicca qui per scoprire come installare un regolatore di gas

    • I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar 
    • Attenzione: per garantire un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a un valore inferiore a 3 PSI.
    • Su tutti i forni a tubi di quarzo è necessario imporre una temperatura massima di 1000 °C per evitare che i tubi di quarzo subiscano deformazioni sotto vuoto.
    • La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM per ridurre gli shock
      termici