Forno tubolare CVD a tre zone con tubo al quarzo da 8,5" e flangia scorrevole (1100C) - GSL-1100X-8,5-III-SR

• Involucro in acciaio a doppia parete con raffreddamento ad aria forzata.
• Due ventole di raffreddamento all'interno per mantenere la temperatura dell'involucro esterno < 70 ºC
• Isolamento in fibra di allumina ad alta purezza per il massimo risparmio energetico
• Una guida scorrevole per supportare la flangia e caricare il campione con facilità
  
• Tre zone di riscaldamento per ottenere una zona a temperatura costante più lunga o un certo gradiente di temperatura

• 8.5" O.D x 8.2" I.D x 51" di lunghezza
•  Un tubo al quarzo è incluso e il tubo di ricambio è disponibile come opzione (fare clic sull'immagine qui sotto per ordinare).

• Temperatura massima di riscaldamento: 1100°C
• Temperatura di lavoro continua: 400 -1000°C
• Velocità massima di riscaldamento/raffreddamento: 10°C/min

• Lunghezza totale della zona di riscaldamento 900 mm (36")
• Tre zone: 300 mm + 300 mm + 300 mm (12" per zona)
• Zona a temperatura costante: 500 mm (se tre zone sono alla stessa temperatura)

• Tre regolatori di temperatura di precisione con funzione PID e 30 segmenti programmabili
• Un monitor di temperatura aggiuntivo è incorporato per spegnere l'alimentazione quando la temperatura è fuori controllo per sbaglio
• Coppia termica di tipo K doppia installata.
• Precisione della temperatura: +/-1°C
• Il software e il modulo di interfaccia PC sono disponibili a un costo aggiuntivo.
• I regolatori di temperatura Eurotherm 3000 con precisione di +/- 0,1 oC sono disponibili su richiesta.t

         Opzionale: Interfaccia e software per PC Controllori di temperatura Eurotherm

• Le flange in acciaio inox sigillate a vuoto con doppio O-ring in silicone per alte temperature sono incluse per ottenere un vuoto elevato (di solito 10-2 torr con pompa meccanica e 10-4 torr con pompa molecolare). La pompa del vuoto non è inclusa
• La flangia destra è di tipo a cerniera e la porta del vuoto KF25. La valvola ad angolo retto per il vuoto KF25 e il tubo flessibile per il vuoto in acciaio inox KF-40 lungo 1,2 metri (soffietto) sono inclusi. Una porta di passaggio del diametro di 1/4" è incorporata in una flangia per inserire una coppia termica per calibrare la temperatura del forno. (ordinare 36" di lunghezza x 1/4" di diametro tipo K).
  per inserire la coppia termica nel prodotto correlato o fare clic su sottolineato).
  • coppia termica per inserire il passante al prodotto correlato o fare clic su sottolineato)
  • È incluso un blocco di quarzo, che deve essere collocato all'estremità destra del tubo per bloccare l'irradiazione del calore.
• La flangia sinistra è installata sul tavolo scorrevole per facilitare lo spostamento. Sulle flange sono installati cinque tubi di alimentazione in acciaio inox e una valvola a spillo per l'alimentazione di gas multi-CVD. 
• È incluso un blocco di quarzo, che deve essere posizionato all'estremità destra del tubo per bloccare la radiazione termica.
• La flangia di sinistra è installata sul tavolo scorrevole per facilitare gli spostamenti. Sulle flange sono installati cinque tubi di alimentazione in acciaio inox e una valvola a spillo per l'alimentazione di gas multi-CVD. 
• La piastra al quarzo da 4 pezzi è integrata nella flangia laterale sinistra per il blocco termico. Si prega di utilizzare un refrigeratore d'acqua a ricircolo per il raffreddamento dell'acqua per risparmiare l'ambiente (fare clic su sottolineato per ordinare)

  Flangia laterale destra   Blocco di quarzo Ø 8   Flangia lato sinistro   Flangia scorrevole                                       

• Forno: 1300 L x 680 L x 920 H, mm
• Tavolo scorrevole: 600 mm L
• Nota: il forno e il tavolo scorrevole devono essere posizionati su una superficie piana. Deve essere effettuato un buon allineamento tra la flangia di scorrimento e il forno (la tabella di scorrimento e il forno vengono spediti separatamente).

• Certificazione CE
• La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta

• I forni a tubo con tubi di quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• Attenzione: A causa dell'alta pressione del gas in uscita dalla bombola, è necessario installare il regolatore di pressione del gas per ridurre la pressione in uscita, evitare la sovrapressione della camera di combustione e garantire un funzionamento sicuro. Fare clic qui per imparare l'installazione di un regolatore di gas.
• Vdefinizione dei limiti di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni da vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.  
• La portata dei gas deve essere limitata a <200 SCCM (o 200ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.

•    Aggiornamento a PECVD in batch