MTI
Forno a vuoto verticale 1100C Max con flangia (camera al quarzo da 8" OD) - VBF-1200X-V9
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Deposizione chimica in fase di vapore potenziata con plasma ad alto vuoto (tipo CCP) - VTC-PECVD
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Dispositivo di controllo e smaltimento dei gas infiammabili - GSL-KR200
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Forno di tempra compatto ad atmosfera controllata - Tubo da 2" OD e 1100C max. - GSL-1100X-S-VTQ
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Forno RTP controllato in atmosfera per wafer da 8" fino a 1000 °C - VBF-1050X-H8
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Reattore ad alta pressione in superlega da 300 ml (ID 35 mm) fino a 1100C. - GSL-1100X-RC-NI300
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Forno CSS e RTP a 950°C max con supporto rotante per wafer da 12" - OTF-1200X-RTP-II-CSS-300
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800? Forno di fusione e tempra rapida dalla fase liquida al Ga Melt-QF-800
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800°C max. Forno CSS e RTP con supporto rotante per wafer 5x5" - RTP-II-5-R
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2800ºC max. Forno elettrolitico riscaldato a induzione con elettrodi mobili - VEF-2800
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Forno elettrolitico 1700C con tubo di allumina da 80 mm e 3 elettrodi di grafite - VEF-1700
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