Verniciatore ibrido PVD / CVD per il rivestimento di film multistrato - VTC-150-H

Il VTC-16--PW è un sistema compatto di rivestimento PVD a polvere, costituito da una testa di sputtering a magnetron raffreddata ad acqua da 2" e da un tavolino vibrante. Durante il processo di rivestimento, le particelle rimbalzano sul tavolino vibrante formando una struttura core-shell. Lo sputtering magnetronico in corrente continua (DC) è adatto al rivestimento di materiali metallici. La sorgente di alimentazione a radiofrequenza (RF) è opzionale per materiali non conduttivi o carbonio. Il rivestitore è utile per la preparazione di polveri speciali per la stampa 3D e di polveri per elettroliti allo stato solido.

SPECIFICHE

Alimentazione	208 - 240 V CA, 50/60 Hz, monofase 3000 W
Forno	L’intero sistema PCV/CVD è integrato nel compatto forno a tubo verticale da 5" a zona singola da 1100 °C (clicca sull’immagine a sinistra per le specifiche dettagliate)
Testa di sputtering	Clicca sull’immagine a sinistra per le specifiche dettagliate È inclusa una testa di sputtering a magnetrone flessibile da 1" con camicia di raffreddamento ad acqua  La distanza tra la testa di sputtering e il tavolino portacampioni è regolabile da 60 a 100 mm È incluso un refrigeratore ad acqua a ricircolo con raffreddamento ad acqua, con portata di 16 L/min, per il raffreddamento della testa di sputtering  . . .  .
Tavola portacampioni rotante	Un portacampioni rotante da 3" di diametro è installato sulla flangia inferiore del forno a tubo verticale La velocità di rotazione è regolabile: da 1 a 10 giri al minuto per un rivestimento uniforme
Pannello di controllo	Pannello di controllo con touch-screen a colori da 6" integrato con PLC per un facile utilizzo Un unico pannello per il monitoraggio e il controllo di tutti i parametri: vuoto, corrente
Pressione di vuoto massimo	Presa per vuoto KF25 integrata Il sistema richiede una bombola di gas Ar con regolatore di pressione (non inclusa) < 1,0E-2 Torr tramite pompa a palette (non inclusa) per bersagli in Au, Ag, Pt, Cu, Mo (non sensibili all’aria) < 1,0E-5 Torr con pompa turbomolecolare (non inclusa) per target in Al, Mg, Li, Lr, Ti, Zn (sensibili all’aria) Il vuoto massimo raggiungibile è < 4,0E-6 Torr mediante pompaggio notturno e cottura
Atmosfera gassosa	È installata una valvola a spillo per consentire l’immissione di gas Ar al fine di ottenere un rivestimento al plasma di qualità superiore Il sistema richiede una bombola di gas Ar con regolatore di pressione (non incluso)
Target	È incluso un bersaglio in rame da 1" per i test; dimensioni del bersaglio: 1" di diametro x 2,5 mm È inoltre in grado di rivestire Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg, ecc., praticamente ogni tipo di materiale metallico Avvertenza: questa macchina è in grado di rivestire alluminio, cromo o nichel, ma si prega di consultare il "Metodo di rivestimento raccomandato" al link sottostante relativo al bersaglio Si prega di utilizzare un sistema di sputtering a magnetron al plasma RF per il rivestimento di materiali non conduttivi e carbonio
Peso netto	50 kg
Conformità	Certificazione CE La certificazione NRTL (UL 6100) è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo; si prega di contattare il nostro rappresentante commerciale per un preventivo