1200C Max. Horno tubular PECVD con 4 canales de suministro de gas y bomba de vacío - OTF-1200X-PEC4LV

• Procesamiento a menor temperatura en comparación con el CVD convencional.
• La tensión de la película puede controlarse mediante técnicas de mezcla de alta/baja frecuencia.
• Control de la estequiometría mediante las condiciones del proceso.
• Ofrece una amplia gama de deposición de materiales, incluidos SiOx, SiNx, SiOxNy y deposición de silicio amorfo (a-Si:H).

Especificaciones

Horno de tubo partido	1200oCTemperatura máx. de trabajo durante < 60 minutos 1100oCMax para calentamiento continuo 30 segmentos controlador digital de temperatura de precisión programable Zona de calentamiento individual de 440 mm de longitud y zona de temperatura constante de 150 mm de longitud Tubo de cuarzo de alta pureza opcional de ( haga clic en la barra opcional para elegir ) Un par de la brida sellada al vacío con válvulas 2 "OD x 1.7 "ID x 48" Longitud 3.14 "OD x 2.83 "ID x 48'' Longitud Potencia de entrada: 208 - 240V AC de entrada, una sola fase a max. 4KW Dos zonas de horno split -OTF1200X-II es opcional a un costo adicional
Fuente de alimentación de plasma RF	Potencia de salida: 5 -300W ajustable con ± 1% de estabilidad Frecuencia RF: 13,56 MHz con ±0,005% de estabilidad Potencia de reflexión: 200W máx. Adaptación: Automática Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra Ruido: <50 dB. Refrigeración: Refrigeración por aire. Alimentación: 208-240VAC, 50/60Hz Nota: Esta fuente de alimentación RF puede aceptar tubos de cuarzo de 50 - 80 mm máx. cambiando la brida.
Manómetro anticorrosivo	Rango de medición de 3,8x10-5 a 1125 Torr Anticorrosivo, independiente del tipo de gas Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera para una detección fiable de la presión atmosférica La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo del proceso Elemento sensor plug & play fácil de cambiar Haga clic en la imagen para ver las especificaciones detalladas
Bomba y válvula de vacío	Bomba de vacío de paletas rotativas de alta resistencia (7,8 CFM -240 L/m) con sistema de escape de dos etapas instalada en la caja inferior con una presión de vacío máxima de 10-2 torr. El adaptador KFD25 y la tubería de acero inoxidable están conectados entre la bomba y la brida del tubo con válvula de bola de precisión El manómetro de vacío digital y la pantalla se instalan con el horno
Bomba sin aceite opcional	Por favor, solicite la bomba sin aceite para una contaminación cero:
Caudalímetro másico EQ-GSL-LCD	Mezclador de gas de 4 canales Válvula de acero inoxidable 316 Tanque de mezcla de gas:?80X120mm 600mm(L) x 745mm(An) x 700mm(Al) Panel de control con pantalla táctil en color de 6" para facilitar la configuración de los parámetros. Control de pantalla táctil y PC remoto conmutable. 23W por canal AC 220V/50Hz Monofásico
Controlador de temperatura	Certificado MET 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia. Función PID Auto-Tune integrada con protección contra sobrecalentamiento y termopar roto. La protección contra sobretemperatura y la alarma permiten el funcionamiento sin operario(s). +/- 1 ºC de temperatura precisión. Puerto de comunicaciones RS485. El kit de software de control de temperatura MTS02-Y (para controladores de la serie YD518P) + paquete para portátil de 15" está disponible en la barra de opciones. Haga clic para obtener información detallada sobre el kit de software MTS02-Y. Puede actualizar el controlador de temperatura al controlador Eurotherm 3000 con una precisión de +/-0,1 C.
Opcional	Haga clic en la imagen de abajo a la izquierda para pedir burbujeador o evaporador para CVD Haga clic en la imagen de abajo a la derecha para pedir el módulo de control de temperatura constante haga clic aquí para elegir un crisol
Dimensiones generales	Horno: 550mm(L) x 380mm(W) x 520mm(H) 3 Fondo Móvil caja juntas: 1800mm(L) x 850mm(An) x 700mm(Al)
Garantía	Un año de garantía limitada con soporte de tiempo de elevación (piezas consumibles como Los tubos de procesamiento, las juntas tóricas y los elementos calefactores no están cubiertos por la garantía; solicite el repuesto en los productos relacionados a continuación).
Ordenador portátil, software y control WiFi (opcional)	Ordenador portátil nuevo a estrenar con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) para uso inmediato. Sistema de control de temperatura basado en Labview(EQ-MTS01) permite a los usuarios editar perfiles de temperatura, gestionar recetas de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI.
Conformidad	Certificado CE Las certificaciones NRTL o CSA están disponibles bajo petición y con coste adicional.