Horno de crecimiento de cristales de epitaxia en fase líquida de alta presión ( 1,2 MPa) a 1100°C y sistema de caja de guantes - HP1100X-LPEGB

Estructura

• Horno de calentamiento vertical de tres zonas, temperatura máxima 1100°C
• Equipado con crisol de grafito de gran pureza y portamuestras de grafito
• La tapa superior de la cámara se abre automáticamente y se encuentra en el interior de la guantera para facilitar la sustitución de la muestra y el soporte
• El interior de la caja de guantes está equipado con un estante móvil automático y una puerta automática para la gran cámara de transferencia, lo que facilita la sustitución y colocación de las muestras

Alimentación

• CA monofásica 220V 50/60HZ
• 6 kW Máx.
  

Elemento calefactor

• Alambre de resistencia

Temperatura de trabajo

• 1100ºC Máx. (< 1 hr.)
• 1000ºC Trabajo Continuo
• ≤10°C/min Velocidad de calentamiento recomendada

Zona de calentamiento

• 150mm+200mm+150mm (tres zonas de temperatura con control independiente)
• Longitud de la zona de temperatura constante: ≥ 170mm
  • Uniformidad de temperatura en zona de temperatura constante:
    • 400-600°C ±3°C
    • 600-900°C ±0,5°C

Producción

• Tamaño máximo del sustrato: ≤ 60*60mm
• Número de sustratos por lote: ≤3 piezas
  
• Recorrido del mecanismo de pull-up: 100mm
• Rango de velocidad de pull-up: 0.05mm/h -10mm/h
• Rango de velocidad de rotación de la varilla de pull-up: 1-10rpm

Cámara de alta presión

• Acero inoxidable SS304
• Dimensiones de la cámara: φ370mm (cámara exterior)*φ350mm (cámara interior)*1200mm
• Presión máxima: 1,2 MPa (≤700°C)
• Control de presión constante bajo atmósfera fluyente, precisión del control de presión: ±1%.
• Entrada de gas equipada con controlador de flujo másico, rango del caudalímetro de entrada: 1000sccm
• Sensor de presión instalado en la tapa superior de la cámara para monitorizar en tiempo real los cambios de presión interna
• Válvula de seguridad electromagnética y válvula de seguridad mecánica de doble protección de seguridad (rango de límite de presión: ≤2MPa)
  
• Subida y bajada automática de la tapa superior de la cámara que facilita la sustitución de las muestras y los soportes de grafito

Sistema de guantera

• Alimentación eléctrica
• 220VAC, 50Hz, monofásica
• Potencia: 2KW
• Material de la cámara: Acero inoxidable 304
• Diseño de ventana de cristal templado de seguridad con apertura frontal y trasera
• Dimensiones internas efectivas: 1200*800*1200mm (L*A*A
• ) Bandeja de material deslizante instalada en la parte superior de la cámara de la caja de guantes
• Interfaces: 4 interfaces KF40 en la parte trasera de la caja
• 2 Antecámara :
  • Grandes dimensiones de la antecámara:
  • Φ360mm ID × longitud 600mm
  • Dimensiones de la antecámara pequeña: Φ150mm ID × longitud 300mm
  • Bandeja deslizante instalada dentro de la cámara de transferencia grande con puerta
• automática Nivel de vacío máximo: 100Pa
• Tamaño del guante de caucho butílico: Φ203mm × 813mm
• Gases de trabajo circulantes: N2, Ar, He
• Capacidad de circulación: 90m³/h
• Control PLC con pantalla táctil para regeneración
• automática Gas de regeneración: Gas de trabajo mezclado con hidrógeno (hidrógeno 5%-10%)
• Estándar equipado con 240L/min de caudal de bombeo bomba mecánica de paletas rotativas de dos polos, filtro de neblina de aceite instalado a la salida de la bomba
  

Sistema de control de temperatura y presión

• Sistema automático de control de temperatura PID
• Precisión del control de temperatura: ±0,1°C
• Termopar: Tipo C
• Controladores de tres zonas de temperatura independientes controlados por pantalla táctil
• Las curvas de calentamiento se pueden visualizar, guardar y exportar en la pantalla táctil
• La presión se puede ajustar en la pantalla táctil
• Visualización en tiempo real de la presión interna de la cámara
• La bomba de vacío y las válvulas de vacío pueden controlarse a través de la pantalla táctil

Sistema de vacío

• Velocidad de bombeo 6 L/S
• Presión máxima: 4*10-1Pa (sin carga, sólo bomba mecánica)
• Potencia nominal: 1500 W

Dimensiones

Peso

Nota de aplicación

• Este equipo puede funcionar normalmente hasta 1000°C, con una presión máxima de 1,2MPa (en entorno de argón de alta pureza). Por favor, no exceda los límites de temperatura o presión durante el funcionamiento.
• No introduzca gases corrosivos como cloruros o sulfuros, ya que pueden dañar los componentes
• Dado que el elemento calefactor es un alambre de resistencia, que se oxida fácilmente a altas temperaturas, sólo se debe introducir argón de alta pureza, nitrógeno u otros gases inertes. No introduzca oxígeno para evitar daños en el elemento calefactor
• Abra la tapa superior sólo cuando la temperatura del horno haya vuelto a la temperatura ambiente. La muestra puede estar aún aalta temperatura , por favor sea precavido y utilice guantes u otras herramientas para su manipulación.