Horno tubular de 2" para CVD asistido por plasma de microondas (MPCVD) a 1200°C - GSL-1200X-50-MWPE

• Cámara de microondas de 1400 W y 2,45 GHz
• Escudo de acero inoxidable y aluminio para proteger de la radiación de microondas
• Calentamiento rápido hasta 20 ºC/minuto de velocidad
• Módulo de calentamiento dentro de la cámara de microondas con temperatura máxima de trabajo de 1200 ºC
• Control de temperatura de precisión con 30 segmentos programables dentro de +/- 1ºC
• Material de aislamiento térmico fundido al vacío para un ahorro máximo de energía.

• 2000W
• 208-240VAC, monofásico, 50/60Hz

• Frecuencia: 2,45 GHz ±25 MHz
• Potencia de salida 1400W
• Fuga de microondas: ≤ 3 mW/cm² a 1 metro de distancia.
• Lleva incorporado un controlador digital de potencia para ajustar la potencia de salida del 10 al 100%

• En el interior del módulo de alúmina fibrosa se instala una bobina de calentamiento de alambre de Ni-Cr-Al con un diámetro interior de 80 mm (fig. 1).
• La bobina de calentamiento se coloca dentro de la cámara de microondas
• El tubo de cuarzo de 2" (OD 50 x ID 44x L 600 mm) se inserta en el interior del módulo calefactor y la cámara de microondas para producir plasma (Foto 2).

Fig. 1 Fig. 2

• Se incluye un par de bridas de vacío para sellar el tubo de cuarzo.
• El puerto de vacío KF25 y la entrada y salida de gas de 1/4 con válvulas de aguja están incorporados en la brida ( Fig. 1)
• Se incluye un vacuómetro digital para el control del vacío ( Fig. 2)
• Máx. Nivel de vacío: 10-2 torr por bomba seca y 10-5 torr por turbobomba.
• La bomba no está incluida. Haga clic en la fig. 3 para pedirla por separado. Para aplicaciones CVD, sugerimos elegir una bomba seca.

Foto. 1 Fig. 2 Foto 3

Temperatura de trabajo

• Máx. 1200ºC < 30 minutos con módulo de calentamiento asistido
• Mín. 800ºC con módulo de calentamiento asistido
• ≤1100ºC continua con módulo de calentamiento asistido y Plasma
• Velocidad de calentamiento: 1 ~20ºC / min programable
• ~750ºC calentamiento sólo por microondas sin control de temperatura

Controlador de temperatura

• Certificado CE
• Certificación NRTL o CSA disponible bajo pedido