MTI  |  SKU: OTF-1200X-II-50-PEC4SL

1200C Max. Horno PECVD deslizable de doble zona con suministro de gas y bomba de vacío - OTF-1200X-II-PEC4SL-LD

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1200C Max. Horno PECVD deslizable de doble zona con suministro de gas y bomba de vacío - OTF-1200X-II-PEC4SL-LD

MTI

OTF-1200X-II-PEC4SL es un sistema de horno tubular PE-CVD deslizable multizona que consta de una fuente de plasma RF de 300 W, con tamaño de tubo opcional y un raíl deslizable integrado, un caudalímetro másico de precisión de 4 canales con tanque de mezcla de gas y una bomba de vacío sin aceite de alta calidad. Este horno PE-CVD es una nueva herramienta para cultivar nanohilos o grafeno con las siguientesventajas:
  • Procesamiento a menor temperatura en comparación con el CVD convencional
  • Alta velocidad de calentamiento y enfriamiento mediante un horno deslizante
  • Cada zona de calentamiento crea un gradiente térmico de hasta 200ºC
  • Temperatura máxima de trabajo de 1100ºC
  • Ofrece una amplia gama de deposición de materiales, como nanocables (o tubos) de carbono y ZnO y grafeno de una sola capa
ESPECIFICACIONES
Modelo
 OTF-1200X-II-50-PEC4SL OTF-1200X-II-80-PEC4SL OTF-1200X-III-5-PEC4SL
Tamaño del tubo
(Seleccione en la barra de opciones)
2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" Longitud 3.14" (80mm) OD x2.83" ID x71'' L
5" (130mm) OD x 4.8" ID x 79'' Longitud
Horno
 OTF-1200X-II-50 OTF-1200X-II-80 OTF-1200X-III-S-130



Características
  • Dos controladores de temperatura de precisión programables con 30 segmentos.
  • Dos zonas de calefacción controladas por separado:
  • 200mm de longitud para cada zona de calefacción
  • 400mm total en longitud de calentamiento
  • 250mm de área de calentamiento a temperatura constante si ambas zonas se calentaran a la misma temperatura
  • Dos controladores de temp. de precisión programables con 30 segmentos.
  • Dos zonas de calefacción controladas por separado:
  • 200mm de longitud para cada zona de calefacción
  • 400mm total en longitud de calefacción
  • 250mm de área de calentamiento a temperatura constante si ambas zonas se calentaran a la misma temperatura
  • Tres controladores de temp. de precisión programables con 30 segmentos.
  • Tres zonas de calefacción controladas por separado:
  • 200mm de longitud para cada zona de calefacción
  • 600mm total en longitud de calefacción
  • 480mm de área de calentamiento a temperatura constante si todas las zonas se calentaran a la misma temperatura


Estructuras de hornos
  • Horno de tubo partido con raíl deslizante
  • Máximo 1100ºCpara calentamiento continuo
  • Controladores de temperatura digitales de precisión multiprogramables con 30 segmentos.
  • Potencia de entrada: 208 - 240V AC de entrada, una sola fase a máx. 4KW

Fuente de alimentación de plasma RF
  • Potencia de salida: 5 -300W ajustable con ± 1% de estabilidad.
  • Frecuencia RF: 13,56 MHz ±0,005% de estabilidad.
  • Potencia de reflexión: 200 W máx.
  • Adaptación: automática
  • Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra
  • Ruido: <50 dB.
  • Refrigeración: Refrigeración por aire.
  • Alimentación: 208-240 VCA, monofásica, 50/60 Hz.

Manómetro anticorrosivo
  • Rango de medición de 3,8x10-5 a 1125 Torr
  • Anticorrosivo, independiente del tipo de gas
  • Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera para una detección fiable de la presión atmosférica
  • La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo del proceso
  • Elemento sensor plug & play fácil de cambiar
  • Haga clic en la imagen para ver las especificaciones detalladas.
Estación de bomba de vacío y válvulas
  • Bomba de vacío de paletas rotativas de alta resistencia (7,8 CFM, 240 L/m) con sistema de escape de dos etapas instalado en la parte inferior caja
  • El adaptador KF25 y la tubería de acero inoxidable se conectan entre la bomba y la brida del tubo con una válvula de bola para el plug and play del cliente
  • Se puede alcanzarun vacíode 10E-2 Torr dentro del tubo de procesamiento




Caudalímetros másicos y estación de mezcla de gases
  • Se instala en un carro móvil de gran resistencia en cuya parte superior puede colocarse el horno tubular. La pantalla táctil LCD integrada permite controlar fácilmente el caudal de gas de cada canal independiente.
  • Temperatura de trabajo: 5~45 ºC
    • Presión máx. Presión: 3x106Pa
    • Precisión: ±1,5% FS
    • Camisa: ±0,5-1,5% FS
    • Precisión de duplicado: ±0,2%F.S.
    • Rango de control:
      • Controlador 1: 0~100 SCCM
      • Controlador 2: 1~199 SCCM
      • Controlador 3: 1~199 SCCM
      • Controlador 4: 1~499 SCCM
  • Haga clic en la imagen de la izquierda para pedir el burbujeador o el evaporador para el módulo de control de presión constante CVD



Tasas de calentamiento y enfriamiento
  • El puerto RS485 y el software están instalados y permiten el control remoto del perfil de temperatura mediante PC ( no incluido, el cliente puede pedir uno aquí )
  • Para alcanzar la velocidad máxima de calentamiento, el usuario debe precalentar el horno a la temperatura deseada y, a continuación, colocar el horno en la zona de muestra del tubo.
  • Para alcanzar la velocidad máx. de enfriamiento, mueva el horno calentado de la zona caliente a la zona fría
Ritmo de calentamiento:
15°C/seg (RT - 150°C);
10°C/seg (150°C - 250°C);
7°C/seg (250°C - 350°C);
4°C/seg (350°C - 500°C);
3°C/seg (350°C - 550°C);
2°C/seg (550°C - 650°C);
1°C/seg (650°C - 800°C);
0,5°C/seg (800°C - 1000°C);
Velocidad de enfriamiento:
15°C/seg (1000 - 950°C);
10°C/seg (950°C - 900°C);
7°C/seg (900°C - 850°C);
4°C/seg (850°C - 750°C);
2°C/seg (750°C - 600°C);
1,5°C/seg (600°C - 500°C);
1°C/seg (500°C - 400°C);
0,5°C/seg (400°C - 300°C);
Dimensiones totales
2000 mm de largo x 800 mm de ancho x 1500 mm de alto
Peso y dimensiones de envío
Peso del envío: 1500lbs
Total 4 Palets: (1)
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