MTI  |  SKU: GSL-1100X-8.5-III-SR

Horno tubular CVD de tres zonas con tubo de cuarzo de 8,5" y brida deslizante (1100C) - GSL-1100X-8.5-III-SR

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Horno tubular CVD de tres zonas con tubo de cuarzo de 8,5" y brida deslizante (1100C) - GSL-1100X-8.5-III-SR

MTI

El GSL-1100X-8.5-SR-III es un horno tubular de cuarzo de tres zonas de calentamiento de 8.5" de diámetro exterior con brida de vacío deslizable y alimentación multigas a través de tubo de acero inoxidable para el procesamiento LPCVD. Se utiliza ampliamente para depositar diversas películas en obleas de hasta 6" en condiciones multigas. La temperatura máxima de trabajo del horno tubular es de 1100°C, controlada por un controlador de precisión con una exactitud de +/-1°C y 30 segmentos programables.

ESPECIFICACIONES
Estructura del horno
  • Carcasa de acero de doble pared con refrigeración por aire forzado.
  • Dos ventiladores de refrigeración en el interior para mantener la temperatura de la carcasa exterior < 70 ºC
  • Aislamiento de fibra de alúmina de alta pureza para un máximo ahorro de energía
  • Un raíl deslizante para apoyar la brida y cargar la muestra con facilidad
  • Tres zonas de calentamiento para conseguir una zona de temperatura constante más larga o un cierto gradiente de temperatura
Tensión de entrada 220 V CA Monofásica
Potencia 8kW
Tamaño del tubo de cuarzo fundido
  • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 51" Longitud
  • Un tubo de cuarzo está incluido, y el tubo de repuesto está disponible como una opción ( haga clic en la imagen de abajo para ordenar )
Elemento calefactor Alambre de resistencia NiCrAl
Temperatura de trabajo
  • Temperatura máx. de calentamiento 1100°C
  • Temperatura de trabajo continuo 400 -1000°C
  • Velocidad máx. de calentamiento/enfriamiento 10°C/min
Zona de calentamiento
  • Longitud total de la zona de calentamiento 900 mm (36")
  • Tres zonas 300 mm + 300 mm + 300mm (12" por zona)
  • Zona de temperatura constante: 500 mm (si tres zonas están a la misma temperatura)
Regulador de temperatura
  • Controlador de temperatura de tres precisiones con función PID y 30 segmentos programables
  • Incorpora un monitor de temperatura adicional para cortar la alimentación cuando la temperatura se descontrola por accidente.
  • Doble par térmico tipo K instalado.
  • Precisión de temperatura: +/-1°C
  • Software y módulo de interfaz para PC disponibles con coste adicional
  • Controladores de temperatura Eurotherm 3000 con una precisión de +/- 0,1 oC disponibles bajo pedido

Opcional: Interfaz para PC y software Controladores de temperatura Eurotherm

Brida de vacío y puertos de paso de gas
  • Se incluyen bridas de acero inoxidable selladas al vacío con doble junta tórica de silicona de alta temperatura para lograr un alto vacío (normalmente 10-2 torr mediante bomba mecánica y 10-4 torr mediante bomba molecular ). La bomba de vacío no está incluida.
  • La brida del lado derecho es de tipo bisagra y puerto de vacío KF25. KF25 Válvula de vacío de ángulo recto y 1,2 metros de largo KF-40 flexible de acero inoxidable manguera de vacío ( fuelle ), se incluyen. Un puerto de alimentación de 1/4" de diámetro está incorporado en una brida para insertar un par térmico para calibrar la temperatura del horno. (por favor, pida 36" de longitud x 1/4 "dia K tipo
    par térmico para insertar el feedthrough en el producto relacionado o haga clic en subrayado )
  • La brida del lado izquierdo está instalada en la mesa deslizante para facilitar el desplazamiento. Hay cinco tubos de alimentación de acero inoxidable y una válvula de aguja instalados en las bridas para alimentar gases multi-CVD.
  • Se incluye un bloque de cuarzo, que debe colocarse en el extremo derecho del tubo para bloquear la radiación térmica.
  • La brida del lado izquierdo está instalada en la mesa deslizante para facilitar el movimiento. Hay cinco tubos de alimentación de acero inoxidable y una válvula de aguja instalados en las bridas para alimentar gases multi-CVD.
  • 4 piezas de placa de cuarzo está incorporado en la brida lateral izquierda para el bloque térmico está construido en la brida lateral izquierda. Por favor, utilice un enfriador de agua de recirculación para el enfriamiento de agua para ahorrar el medio ambiente ( haga clic en subrayado para ordenar )

Brida lateral derecha Bloque de cuarzo de 8" de diámetro Brida lateral izquierda Brida deslizante

Dimensiones del producto
  • Horno: 1300 L x 680 W x 920 H, mm
  • Mesa deslizante: 600mm L
  • Nota: Debe colocar el horno y la mesa deslizante sobre una superficie plana. Debe hacer una buena alineación entre la brida deslizante y el horno ( Enviamos la mesa deslizante y el horno por separado
Peso neto 354Kg
Dimensiones de envío 70" x 70" x 65"
Peso del envío 354Kg
Garantía Un año de garantía limitada para la parte electrónica y mecánica, excluyendo el elemento calefactor y el tubo cerámico dañados por el usuario
Conformidad
  • Certificado CE
  • Certificación NRTL o CSA disponible previa solicitud
Advertencia
  • Los hornos tubulares con tubos de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
  • Atención: Debido a la salida de gas a alta presión del cilindro de gas, es necesario instalar el regulador de presión de gas con él para reducir la presión de salida, evitar la sobrepresurización de la cámara de resistencia y garantizar un funcionamiento seguro. Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas.
  • Definición del límite de vacío para todos los hornos tubulares de cuarzo: * Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
  • El caudal de gases debe limitarse a <200 SCCM (o 200ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo.
Vídeo
  • Actualización a PECVD por lotes

ACCESORIO OPCIONAL
Nº de pieza
Descripción
Enlace rápido
Bloque tubular de cuarzo / bloque tubular de aislamiento térmico(En comparación con el bloque cerámico convencional, el bloque térmico de cuarzo con alúmina puede ayudar a lograr un mayor nivel de vacío y evitar la contaminación potencial.)
EQ-KF-suite
EQ-MTS02 Sistema informatizado de control de la temperatura
EQ-CVM-211
Vacuómetro digital compacto y controlador con fuente de alimentación (hasta 10-4 Torr)