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GSL-1100X-8.5-III-SR
Horno tubular CVD de tres zonas con tubo de cuarzo de 8,5" y brida deslizante (1100C) - GSL-1100X-8.5-III-SR
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Horno tubular CVD de tres zonas con tubo de cuarzo de 8,5" y brida deslizante (1100C) - GSL-1100X-8.5-III-SR
MTI
El GSL-1100X-8.5-SR-III es un horno tubular de cuarzo de tres zonas de calentamiento de 8.5" de diámetro exterior con brida de vacío deslizable y alimentación multigas a través de tubo de acero inoxidable para el procesamiento LPCVD. Se utiliza ampliamente para depositar diversas películas en obleas de hasta 6" en condiciones multigas. La temperatura máxima de trabajo del horno tubular es de 1100°C, controlada por un controlador de precisión con una exactitud de +/-1°C y 30 segmentos programables.
ESPECIFICACIONES
| Estructura del horno |
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| Tensión de entrada | 220 V CA Monofásica |
| Potencia | 8kW |
| Tamaño del tubo de cuarzo fundido | |
| Elemento calefactor | Alambre de resistencia NiCrAl |
| Temperatura de trabajo |
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| Zona de calentamiento |
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| Regulador de temperatura |
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| Brida de vacío y puertos de paso de gas |
Brida lateral derecha |
| Dimensiones del producto |
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| Peso neto | 354Kg |
| Dimensiones de envío | 70" x 70" x 65" |
| Peso del envío | 354Kg |
| Garantía | Un año de garantía limitada para la parte electrónica y mecánica, excluyendo el elemento calefactor y el tubo cerámico dañados por el usuario |
| Conformidad |
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| Advertencia |
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| Vídeo |
ACCESORIO OPCIONAL











