Silicon-Nitride on Silicon

MTI

Película de nitruro de silicio de 1000 nm (LPCVD) sobre Si(100), tipo P, dopada con B de 100 mm de diámetro x 0,525 mm de espesor, 1sp,R:1-20 ohm.cm

MTI

300 nmPelícula de nitruro de silicio (LPCVD) sobre Si(100), tipo N, dopada con P, 100 mm de diámetro x 0,525 mm de espesor, 1sp,R:1-20 ohm.cm - FmSi3N4onSiPa100D0525C1FT300

MTI

Película de nitruro de silicio de 100 nm (PE-CVD) sobre Si(100)tipo P, dopada con B de 100 mm de diámetro x 0,525 mm de espesor, 1sp,R:0,001-0,005 ohm.cm - FmSi3N4onSiBa100D0525C1FT100