Estructura compacta | 
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Potencia de entrada | - Monofásica 220 VAC 50 / 60 Hz
- 2000 W (incluyendo bomba de vacío y enfriador de agua)
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Potencia de origen
| - Dos fuentes de potencia para sputtering integradas en una caja de control (Haga clic en la imagen de abajo para ver las especificaciones detalladas)
- Fuente DC: 500 W de potencia para el recubrimiento de materiales metálicos (Foto 1)
- RF fuente: 300 W de potencia, 13,56 MHz de frecuencia para el revestimiento de materiales no -conductores(Foto 2)
 -- Foto 1  -- Imagen 2 |
Cabezal de sputtering de magnetrón
| - Dos 2" Magnetron Sputtering Heads con camisas de refrigeración por agua y obturadores están incluidos (Click Pic. 1)
- Revestimiento personalizado:
- Dos Cabezales de CC sin RF; dos cabezales de RF sin CC; 3 cabezales de RF disponibles bajo pedido
- Opcional: se puede pedir un cable de RF de 148 cm con coste adicional para el recambio (Haga clic en la imagen para pedirlo)
- Sistema de sputtering de cuatro cabezales disponible bajo pedido (Foto 5)
 Foto. 1  Foto. 2  Foto 3  Fotografía 4  Imagen 5 |
Cámara de vacío
| - Cámara de vacío: 300 mm de diámetro x 300 mm de altura, de acero inoxidable
- Mirilla: Dos piezas de vidrio de 100 mm de diámetro. Una fija y otra desmontable para su limpieza y sustitución
- Tapa abatible con pértiga neumática permite cambiar fácilmente de objetivo
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Platina de muestra
| - El portamuestras es una platina giratoria y calefactable fabricada con un calentador cerámico y una cubierta de cobre.
- Tamaño del portamuestras: 140 mm Dia. para. Oblea de 4" como máximo
- Velocidad de rotación: 1 - 20 rpm ajustable para un recubrimiento uniforme
- La temperatura del soporte es ajustable de RT a 500 ° C máx (2 h máx) con una precisión de +/- 1,0 ° C a través de un controlador de temperatura digital
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| >Control de flujo de gases
| - Se instalan dos controladores de caudal másico (MFC) de precisión para permitir la entrada de dos tipos de gases
- Caudal: 0 - 200 mL/min ajustable en el panel de control con pantalla táctil
- Válvula de entrada de aire instalada para liberar el vacío
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Estación de bomba de vacío
| - Se incluye una estación de bombeo móvil con una bomba rotativa de paletas. El recubridor para sputtering puede colocarse encima de la estación
- Para vacío <4E-5 Torr, una bomba turbomolecular de 63 L/s es opcional.
- Para vacío <1E-5 Torr, una bomba turbomolecular de 260 L/s es opcional.
- Se requiere una condición de alto vacío para objetivos sensibles al oxígeno, como Al, Ti, Cr, etc.
 
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Enfriador de agua
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Monitor de espesor de película
(Opción )
 
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Dimensiones totales
|  Tapa cerrada 48" × 28" × 32"  Tapa abierta: 48" × 28" × 37"
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Peso neto de la recubridora | |
Peso y dimensiones de envío | - Total 2 Palets
- #1: 520 libras, 52" x 40" x 50"
- #2: 420 lbs, 48" x 40" x 45"
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Conformidad
| - Aprobación CE
- Certificación NRTL (UL 1450) disponible previa solicitud con coste adicional
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Garantía | - Garantía limitada de un año con asistencia de por vida
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Vídeo de demostración del funcionamiento
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Notas de aplicación
| - Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en el depósito de gas para limitar la presión de salida por debajo de 0,02 MPa.
- Utilice gas argón de pureza > 5N para el sputtering por plasma.
- Para un mejor rendimiento, los cátodos no conductores deben instalarse con una placa de soporte de cobre. Por favor, consulte el vídeo de instrucciones a continuación para la unión de objetivos (Haga clic en la imagen #3)
- MTI suministra sustrato monocristalino de la A a la Z (Haga clic en la imagen #4 para hacer un pedido)
- MTI Sputtering Coaters han revestido con éxito ZnO enAl2 style="letter-spacing: 0pt; word-spacing: 0pt;">O 3 sustrato a 500 °C (perfil XRD en Pic #5 abajo)
- ALTA TENSIÓN Los cabezales de sputtering se conectan a alta tensión. Por razones de seguridad, el operador debe apagar el generador de RF / DC antes de la carga de la muestra y las operaciones de cambio de objetivo.
- NO utilice agua destilada en un enfriador de agua. Utilice refrigerante, agua destilada o aditivos anticorrosivos con el agua.
- El recubridor puede colocarse en guantera como la Pic. 6 con un coste adicional (debe pedir la guantera junto con la máquina).
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