MTI  |  SKU: OTF1200XIIRTP

Horno CSS de dos zonas para procesamiento térmico rápido de hasta 3" de diámetro y máx. 650°C. - OTF-1200X-RTP-II

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Horno CSS de dos zonas para procesamiento térmico rápido de hasta 3" de diámetro y máx. 650°C. - OTF-1200X-RTP-II

MTI

OTF-1200X-RTP-II es un horno de procesamiento térmico rápido de dos zonas de calentamiento con tubo de cuarzo de 11" de diámetro exterior. Está diseñado para el recubrimiento de películas PVD o CSS (Close Spaced Sublimation) de hasta 3" de diámetro o 2 "x2" cuadradas. El horno se calienta mediante dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con un máximo de 20ºC/s. Incorpora dos controladores de temperatura de precisión de 30 segmentos con una precisión de +/-1ºC. Se incluye puerto RS485 y software de control para permitir el funcionamiento del horno y el registro de perfiles de temperatura a través de PC. Es una herramienta excelente para la investigación de películas finas de nueva generación para células solares, como CdTe, Sulfuro y Perovskita. También puede utilizarse como RTP para el recocido de películas finas.

ESPECIFICACIONES:
Estructura del horno y cámara de vacío
  • Un calentador doble, dos controladores de temperatura y caudalímetros de gas de dos canales están integrados en un bastidor móvil de aleación de aluminio
  • La cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza
  • Tamaño del tubo de cuarzo: 11" OD/10.8" ID x 9" H
  • Fieltro de fibra de carbono como aislamiento térmico
  • Las bridas de vacío son de acero inoxidable 316
  • En general Dimensiones: 850(L)×745(An)×1615(Al) mm
Bridas de vacío
  • La brida superior con un puerto de vacío KFD-25 y dos salidas de gas (se requiere tubería de 1/4") puede deslizarse hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar sustrato y material evaporado con facilidad
  • La brida inferior tiene un puerto de vacío KFD-25 con dos entradas de gas (se requiere tubería de 1/4") y válvulas de aguja
  • La brida está sellada por juntas tóricas dobles de silicona y puede alcanzar una presión de vacío máxima de 10E-2 Torr con una bomba mecánica de calidad y de 10E-5 Torr con una bomba molecular
  • El vacuómetro digital anticorrosión de precisión está en el paquete estándar (Desde 2016.03.24).
Medidores de flujo de gas
  • Dos medidores de flotador están instalados en el panel de control con un rango de medición de:
    • 16 -160 mL/m
    • 400 - 4000 mL/m (para fines de purga)
Calentadory portamuestras
  • Dos lámparas IR de onda corta como elementos calefactores para un calentamiento rápido.
  • La distancia entre dos calentadores es ajustable de 10 - 50 mm
  • Los calentadores son de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y permitir un enfriamiento rápido
  • El calentador superior incorporaun soporte para obleas redondas de 3" para cargar el sustrato
  • Se incluye una placa de AlN de alta conductividad térmica (3" de diámetro x 0,5 mm de grosor), que se colocará en la parte posterior del sustrato para que se caliente uniformemente.
  • Una placa de grafito de 3" puede ser usada alternativamente para la placa AIN, por favor haga click en la imagen de abajo para pedirla.
  • Calentador de luz halógena de reemplazo está disponible a un costo adicional, por favor haga clic aquí para ordenar.
Controlador de Temperatura
  • Dos controladores digitales de temperatura de precisión con 30 segmentos programables ofrecen un control independiente de los calentadores superior e inferior
  • Cada controlador dispone de una función de autoajuste PID para proteger los calentadores contra sobrecalentamiento y una función de alarma para evitar el sobrecalentamiento y la rotura del par térmico
  • Interfaz de comunicación con PC y software instalados


Temperatura de trabajo
  • Temperatura máxima para cada calentador <= 650ºC
  • Diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: <= 300ºC depende de la separación entre dos calentadores:
    • Separación 30mm Diferencia máxima de temp: 315ºC sólo en la parte inferior
    • Distancia 40 mm Diferencia de temperatura máx: 350ºC sólo en la parte inferior
    • Distancia 50 mm Diferencia de temperatura máx: 395ºC @ sólo fondo calefactor
Velocidad de calentamiento y enfriamiento
  • Calentamiento < 8ºC/s ( calentando solo calentador )
  • Enfriamiento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Máx.
Pareja Térmica Se instalan dos pares térmicos de tipo K (expuestos) en los calentadores superior e inferior por separado
Tensión de trabajo 208 - 240VAC, monofásico, disyuntor de 20A
Potencia requerida 2200W total ( 1100W para cada calentador )




Opcional
  • Se requiere una bomba de vacío. Pídala por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda. El nivel de vacío puede alcanzar < = 10E-2 torr mediante una bomba mecánica.
  • Si utiliza gas corrosivo, por favor considere el uso de una bomba seca anticorrosiva como se muestra en la segunda imagen de la izquierda ( bomba Pfeiffer de Alemania ) a un costo adicional.
  • Usted puede pedir un enfriador de agua de recirculación para ahorrar fuentes de agua por separado
  • Usted puede elegir un sistema de suministro de gas MFC digital haciendo clic en la primera imagen de la derecha a continuación
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Garantía Limitada a un año con soporte de por vida ( Las piezas consumibles como el tubo de cuarzo y las lámparas calefactoras no están cubiertas por la garantía)
Conformidad
  • Certificado CE
  • Certificación NRTL o CSA disponible bajo petición, se aplicarán cargos adicionales
Vídeo de funcionamiento
Nota
  • Los hornos tubulares con tubos de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bares / 3 psi
  • Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C. El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM para reducir los choques térmicos en el tubo..
Artículos de referencia
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