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Película de nitruro de boro sobre oblea de silicio, 24 nm / 4" -- BN-Si-100-24nm - FmBNonSia100D0525C1FT24nm

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Película de nitruro de boro sobre oblea de silicio, 24 nm / 4" -- BN-Si-100-24nm - FmBNonSia100D0525C1FT24nm

MTI

Película de nitruro de boro

El nitruro de boro es un compuesto químico con la fórmula química BN, formado por igual número de átomos de boro y nitrógeno. La película de BN es amorfa t Su dureza sólo es inferior a la del diamante, pero su estabilidad térmica y química es superior. La deposición a baja presión de películas finas de nitruro de boro se realiza sobre obleas de Si (100) mediante pulverización catódica.

  • Película de BN recubierta por el método de sputtering
  • Estructura amorfa (sin orientación)
  • Dieléctrico
  • BN Espesor: 24 nm +/- 10%
  • Pureza: > 99.99%

Especificaciones de la oblea de silicio:

  • Tipo conductor: Si tipo n
  • Resistividad: 0,1-1,0 ohm-cm
  • Tamaño: 4" de diámetro +/- 0,5 mm x 0,525 +/- 0,025 mm ( espesor)
  • Orientación: (100) +/- 0,5o
  • Pulido: Pulido por un lado
  • Rugosidad de la superficie: Prime
  • Embalaje: Envasado al vacío en caja portadora de oblea individual de 4

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