Película de nitruro de boro sobre oblea de silicio, 24 nm / 4" -- BN-Si-100-24nm - FmBNonSia100D0525C1FT24nm
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Película de nitruro de boro sobre oblea de silicio, 24 nm / 4" -- BN-Si-100-24nm - FmBNonSia100D0525C1FT24nm
MTI
Película de nitruro de boro
El nitruro de boro es un compuesto químico con la fórmula química BN, formado por igual número de átomos de boro y nitrógeno. La película de BN es amorfa t Su dureza sólo es inferior a la del diamante, pero su estabilidad térmica y química es superior. La deposición a baja presión de películas finas de nitruro de boro se realiza sobre obleas de Si (100) mediante pulverización catódica.
- Película de BN recubierta por el método de sputtering
- Estructura amorfa (sin orientación)
- Dieléctrico
- BN Espesor: 24 nm +/- 10%
- Pureza: > 99.99%
Especificaciones de la oblea de silicio:
- Tipo conductor: Si tipo n
- Resistividad: 0,1-1,0 ohm-cm
- Tamaño: 4" de diámetro +/- 0,5 mm x 0,525 +/- 0,025 mm ( espesor)
- Orientación: (100) +/- 0,5o
- Pulido: Pulido por un lado
- Rugosidad de la superficie: Prime
- Embalaje: Envasado al vacío en caja portadora de oblea individual de 4
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