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ALC50D043C1
Al2O3 - Oblea de zafiro <0001> 2 "dia x 0.43mm 1SP - ALC50D043C1
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Al2O3 - Oblea de zafiro <0001> 2 "dia x 0.43mm 1SP - ALC50D043C1
MTI
Características:
- Zafiro ( monocristal de Al2O3 ) se utiliza ampliamente como sustrato para nitruros III-V y para muchas otras películas epitaxiales.
- Orientación: Eje C[0001] off Plano M(1-100) 0,2o+/-0,1o
- Diámetro: 50,8 mm +/- 0,1 mm
- Espesor: 430um +/- 15 um
- Plano mayor: eje A[11-20]+/-0,2o
- Longitud del plano mayor: 16 mm +/- 1,0 mm
- Acabado superficial: Lado frontal: Epi-pulido, Ra< 0.3 nm(por AFM); Parte trasera: Pulido fino, Ra= 0,4-1,2 um
- TTV: <= 7 um
- Arco:<= 10 um
- WARP<=15um
- TIR<=10um
- Superficie pulida: Un lado epi pulido por tecnología especial CMP
- Embalaje: Cada oblea se embala en sala blanca de clase 1000
Propiedades típicas:
- Estructura cristalina: Hexagonal. a=4,758 Angstroms c=12,99 Angstroms
- Punto de fusión: 2040 grados C
- Densidad: 3,97 gramos/cm2
- Técnica de crecimiento: CZ
- Pureza del cristal: >99.99%
- Dureza: 9 ( mohs)
- Térmica Expansión: 7.5x10-6 (/ oC)
- Conductividad térmica: 46,06 @ 0 oC, 25,12 @ 100 oC, 12,56 @ 400 oC( W/(m.K) )
- Constante dieléctrica: ~ 9,4 @300K en el eje A ~ 11,58@ 300K en el eje eje C
- Tangente de pérdida a 10 GHz: < 2x10-5 en el eje A, <5 x10-5 en el eje C
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