Película de aluminio sobre oblea de silicio , 3 micras / 4" -- Al-Si-100-3um ,Si(100) tipo P dopado con B R:1-20 ohm.cm
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Película de aluminio sobre oblea de silicio , 3 micras / 4" -- Al-Si-100-3um ,Si(100) tipo P dopado con B R:1-20 ohm.cm
MTI
Película metálica de aluminio
- Recubrimiento mediante evaporación por haz de electrones en vacío por debajo de 10-6 torr
- velocidad de evaporación: 0,2 nanómetros por segundo
- Espesor del aluminio 3 micras
- Resistividad de la película: 2,65 micro-ohm-cm
- Cristalinidad de la película: Débil (111) - policristales orientados
- Rugosidad, RMS: 4,87 nm y < 10 nm
Especificaciones de la oblea de silicio:
- Tipo conductor: Si tipo P, dopado con B
- Resistividad: 1- 20 ohm-cm
- Tamaño: 4" de diámetro +/- 0,5 mm x 0,525 +/- 0,025 mm de grosor
- Orientación: (100) +/- 0,5o
- Pulido: Una cara pulida
- Rugosidad de la superficie: Prime
- Embalaje: Envasado al vacío en un soporte de oblea individual de 4"
- Opcional: puede necesitar una herramienta para manipular la oblea ( haga clic en la imagen para pedirla )
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