Horno RTP controlado por atmósfera para oblea de 8" hasta 1000 °C - VBF-1050X-H8

Estructura del horno

• El soporte de calentamiento IR con refrigeración por agua está instalado en una cámara de vacío ( 16x14x15")
• La cámara de calentamiento de 200x200 mm de diámetro x 10 mm de altura
• Ventana de observación de cuarzo de 25 mm de diámetro integrada en la puerta delantera
• El puerto de vacío KF 25 y las válvulas de entrada y salida de gas están incorporados en la cámara de vacío
• Se incluye un vacuómetro mecánico
• Se incluye un controlador digital de temperatura con 30 segmentos programables
• Se incluye un par térmico de tipo k

Alimentación

Temperatura de trabajo

• 30 segmentos programables mediante un controlador de temperatura digital
• Temperatura de trabajo: <= 800 °C de forma continua Máx. 1000 °C, < 30 minutos
• Máx. Velocidad de calentamiento <= 300°C/ min 5°/segundo
• Max. Enfriamiento <= 60ºC/min 1°/segundo
• Estabilidad de temperatura: +/- 1°C
• RS485 puerto y suave se incluye para el funcionamiento del PC

Cámara de calefacción y enfriadora de agua

• Dos placas calefactoras IR son soportes de acero inoxidable incorporados con camisa de refrigeración por agua
• Cámara de calentamiento de 8,5" cuadradas x 10 mm de altura con camisa de refrigeración por agua, que puede aceptar obleas de 8 "x8"
• Se coloca una placa de cuarzo en la cámara de calentamiento inferior para aceptar una oblea de hasta 8" x 5 mm de grosor
• Se incluye un enfriador de agua de recirculación de 16 L/minuto para refrigerar la cámara de calentamiento.

Nivel de vacío y bomba de vacío
y sistema de suministro de gas
( opcional)

• 10- 2 torr a través de una bomba mecánica rotativa ( estado frío ) Fig. 1
• 10-4 torr vía turbobomba (una condición fría con cocción ) Puc. 2
• KF25 puerto de vacío y válvulas de gas están incluidos
• Se incluye un vacuómetro mecánico
• No se incluye la bomba de vacío. Haga clic en el siguiente enlace (imágenes 1 y 2) para realizar el pedido por separado.
• Vacuómetro digital de hasta 10-5 torr con puerto KF16 opcional ( Haga clic en la imagen 3 para pedirlo )
• Puede solicitar un sistema de suministro de gas interno haciendo clic en la imagen 4.
• Foto 1 Foto. 2Foto. 3 Pic. 4

Dimensiones generales

Haga clic en la imagen para ver los detalles

Peso neto

45 kg

Peso de envío

45 kg

Volumen de envío

alineación de texto: izquierda45"(largo) x28"(ancho) x35"(alto)

Garantía

• Garantía limitada de un año con asistencia de por vida
  
• ATENCIÓN: Cualquier daño causado por el uso de gases corrosivos y ácidos no están bajo la cobertura de la Garantía Limitada de Un Año de MTI.

Conformidad

• Certificado CE
• Las certificaciones NRTL o CSA están disponibles bajo pedido con un coste adicional.

Vídeo de demostración del funcionamiento