Horno PECVD compacto autodeslizante con tubo de 2" y bomba de vacío, Max. 1200C - OTF-1200X-S50-PESL

• Procesamiento a menor temperatura en comparación con el CVD convencional.
• Alta velocidad de calentamiento y enfriamiento mediante horno deslizante.
• La tensión de la película puede controlarse mediante técnicas de mezcla de alta/baja frecuencia.
• Control de la estequiometría mediante las condiciones del proceso.
• Puede realizar una amplia gama de deposición de materiales, incluidos SiOx, SiNx, SiOxNy y deposición de silicio amorfo (a-Si:H).

Especificaciones:

Horno de tubo dividido autodeslizante calefacción de dos zonas disponible bajo pedido	Potencia de entrada: 208 - 240 V CA, 1,2 kW 1200° CTemperatura máx. de trabajo durante < 60 minutos 1100°C Máx. para calentamiento continuo Tubo de cuarzo de alta pureza 2 "OD x 1.7 "ID x 39.4" Longitud Controlador de temperatura digital de precisión programable de 30 segmentos 8" (200mm), zona única. 2,3" (60mm) (+/-1°C) @ 1000°C La siguiente imagen muestra la distribución de la temperatura en la zona de calentamiento, haga clic para ampliarla. Perfil de distribución de temp.
Generador de plasma RF	OPotencia de salida: 5 -300W ajustable con ± 1% de estabilidad Frecuencia RF: 13,56 MHz con ±0,005% de estabilidad Potencia de reflexión: 200W máx. Adaptación: Automática Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra Ruido: <50 dB. Alimentación: 208-240VAC, 50/60Hz Refrigeración: Refrigeración por aire.
Bridas de vacío y accesorios	El conjunto de bridas de vacío está fabricado en acero inoxidable 304. El conjunto de brida izquierda incluye un puerto de vacío KF-25, dos abrazaderas rápidas KF-25, una válvula de ángulo recto KF-25, un fuelle de vacío KF-25, un soporte de brida, un racor dentado de 3/8 O.D y una válvula de aguja. El conjunto de brida derecha incluye un manómetro digital Pirani, un racor 1/4 D.E., un pasamuros 1/4", una válvula de aguja y un juego de abrazaderas rápidas KF-16.
Bomba de vacío	208 - 240 V / 50-60 Hz (750 W máx.) 220litros / M o 7.8 CFM Eliminador de neblina de aceite incluido Vacío máx.: 3 X 10E-3 torr
Dimensiones del producto	Dimensiones totales: 1500mm x 600mm x 1200mm (todo el sistema, L x A x A) Peso neto: 350 lbs Peso de envío: 480 lbs
Control de oxígeno (opcional)	Se puede utilizar un sensor de oxígeno para controlar el nivel de oxígeno de los gases utilizados en los sistemas CVD para evitar o reducir la oxidación. Haga clic en la siguiente imagen para obtener más información:
Opciones	Por favor, elija a continuación los sistemas de suministro de gas en función de su presupuesto ( haga clic en subrayado o imagen para ordenar ) Mezclador de gas de tres canales compacto y anticorrosión de bajo coste Sistemas compactos de vaporización de líquidos Sistema de control de gas MFCde cuatro canales Módulo de control de temperatura constante El paquete OTF-1200X-S50-PESL añade capacidades de mezcla y suministro de gas en el sistema del horno mediante la integración de estación de mezcla de gas de cuatro canales con control de panel táctil PLC y caudalímetros másicos de precisión. Por favor seleccione este modelo de las Opciones de Producto arriba.
Garantía	Garantía limitada de un año con soporte de tiempo de elevación (Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, por favor, solicite el reemplazo en los productos relacionados a continuación).
Ordenador portátil, software y control WiFi (opcional)	Ordenador portátil nuevo con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) Sistema de control de temperatura basado en Labview(EQ-MTS01) permite al usuario editar el perfil de temperatura, gestionar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar los datos de los hornos MTI. Un mando a distancia inalámbrico proporciona hasta 300 metros de alcance operativo. Las funciones anteriores están disponibles bajo pedido con un coste adicional (hasta 1.000 dólares). Póngase en contacto con nosotros para obtener más información.
Conformidad	Certificado CE Las certificaciones NRTL (UL61010), CSA o TUV están disponibles bajo pedido y con coste adicional.
Vídeo de funcionamiento
Advertencia y nota Haga clic aquí para aprender la instalación de un regulador de gas	Los hornos tubulares con tubos de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bares / 3 psi. Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse de forma segura hasta 1000° C. El caudal de gases debe limitarse a <200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo. Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro. MTI se reserva el derecho de modificar el diseño del PECVD en cualquier momento sin previo aviso, pero promete que la calidad cumplirá con las especificaciones anteriores.