MTI  |  SKU: FmCu400Ta50SO300onSiBa101D05

Película de Cu sobre Ta/SiO2/ 4 "Oblea de silicio, Cu=400 nm Ta=50nm SiO2=300nm, Si(100) tipo P dopado con B 4 "x0,525mm, 1sp

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Película de Cu sobre Ta/SiO2/ 4 "Oblea de silicio, Cu=400 nm Ta=50nm SiO2=300nm, Si(100) tipo P dopado con B 4 "x0,525mm, 1sp

MTI

Especificaciones:

  • Oblea de Si recubierta de Cu <111> (tamaño de 4 pulgadas)
  • Espesor de la película policristalina altamente orientada de Cu <111> 400 nm
  • Espesor de la barrera de difusión de Ta: 50 nm
  • Oblea de Si (Prime Grade) de 4 pulgadas de diámetro x0,525 mm de espesor con óxido térmico: 300 nm espesor
  • Tipo P, dopado con B, orientación <100>, SSP
  • Resistividades: 1-20 ohm-cm
  • Rugosidad superficial: según crecimiento, N/A
  • Embalaje: Una sala blanca de clase 1000 con bolsa de plástico de clase 100