MTI | SKU:
FmCu400Ta50SO300onSiBa101D05
Película de Cu sobre Ta/SiO2/ 4 "Oblea de silicio, Cu=400 nm Ta=50nm SiO2=300nm, Si(100) tipo P dopado con B 4 "x0,525mm, 1sp
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Película de Cu sobre Ta/SiO2/ 4 "Oblea de silicio, Cu=400 nm Ta=50nm SiO2=300nm, Si(100) tipo P dopado con B 4 "x0,525mm, 1sp
MTI
Especificaciones:
- Oblea de Si recubierta de Cu <111> (tamaño de 4 pulgadas)
- Espesor de la película policristalina altamente orientada de Cu <111> 400 nm
- Espesor de la barrera de difusión de Ta: 50 nm
- Oblea de Si (Prime Grade) de 4 pulgadas de diámetro x0,525 mm de espesor con óxido térmico: 300 nm espesor
- Tipo P, dopado con B, orientación <100>, SSP
- Resistividades: 1-20 ohm-cm
- Rugosidad superficial: según crecimiento, N/A
- Embalaje: Una sala blanca de clase 1000 con bolsa de plástico de clase 100
