MTI  |  SKU: FmCu100Ta50SO300onSiBa101005

Película de Cu sobre Ta/SiO2/ Oblea de silicio, Cu=100 nm Ta=50nm SiO2=300nm, Si(100) tipo P dopado con B 10x10x0.525mm, 1sp

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Película de Cu sobre Ta/SiO2/ Oblea de silicio, Cu=100 nm Ta=50nm SiO2=300nm, Si(100) tipo P dopado con B 10x10x0.525mm, 1sp

MTI

Especificaciones:

  • Oblea de SiO2/Si recubierta de Cu (tamaño 10x10 mm)
  • Espesor de la película de Cu policristalino <111>: 100 nm
  • Espesor de la barrera de difusión de Ta: 50 nm
  • Oblea de SiO2/Si de 10x10x0,5 mm (Prime Grade)
    • Tipo P, dopado con B, orientación <100>, SSP
    • Resistividades: 1-20 ohm-cm
    • óxido térmico: 300 nm
  • Rugosidad superficial: según crecimiento
  • Embalaje: Una sala limpia de clase 1000 con bolsa de plástico de clase 100
  • 10 unidades por paquete para un pedido mínimo


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