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MTI  |  SKU: OTF-1200X-S-Mist

Horno económico MIST CVD (1200°C Max. ) para Crecimiento de Cristales- OTF-1200X-S-Mist

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Horno económico MIST CVD (1200°C Max. ) para Crecimiento de Cristales- OTF-1200X-S-Mist

MTI

ESPECIFICACIONES:

Características

 El OTF-1200X-S-Mist es un sistema MIST CVD compacto y económico para el crecimiento epitaxial de capa fina o monocristal hasta 1200ºC. El horno está integrado con un generador de niebla ultrasónico de 1,7 MHz y un sistema de suministro de gas de 2 canales.

Horno
  • Horno tubular divisible con temperatura máxima de trabajo de 1200ºC
  • Zona de calentamiento de 200 mm de longitud con zona de temperatura constante de 60 mm de longitud.
  • Controlador de temperatura programable de 30 segmentos con +/- 1ºC precisión
  • Potencia: 1.2 KW, 120VAC ( +/- 10% monofásico 50/60Hz
  • Haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones detalladas

Tubo de cuarzo y portamuestras

  • Se incluye un tubo de procesamiento de cuarzo con bridas y el tamaño de OD 60 mm x ID 55 mm x L 600 mm
  • Se incluye un portamuestras de cuarzo, que puede contener 4 piezas de sustrato de 10x10x0,5 mm a 45 grados.
  • Haga clic en la imagen de la izquierda para pedir repuestos

Generador de niebla ultrasónico

  • El generador de ultrasonidos de 1,7 Mhz se encuentra en un tanque hermético SS316. ( haga clic en Pic izquierda para especificaciones )
    • 3 niveles de potencia de salida ( baja = "1", velocidad de inyección de líquido = 0,2 mL/min), (media = "2", velocidad de inyección de líquido = 0,4 mL/min), (alta ="3", velocidad de inyección de líquido = 0,6 mL/min). Para lograr una alta calidad de atomización, la velocidad de la bomba de la jeringa debe coincidir con el nivel de potencia de salida.
    • 7 niveles de ajuste de tiempo (indicador luminoso "Out"), "1" = sin limitación de tiempo, "2" = 30 min, "3"= 60 min, "4"= 90 min, "5"= 120 min, "6"= 150 min, "7" = 180 min
  • Una bomba de inyección de líquido está equipada para inyectar automáticamente que viene con una jeringa de plástico de 20 ml. La gama de velocidades de la bomba de inyección de líquido es de 0,004 ml/min - 70 ml/min.
  • Función de calentamiento de temperatura instalada adicionalmente bajo pedido. La temperatura máxima puede alcanzar los 250 °C
  • El generador de niebla se conecta a un horno tubular mediante un tubo de acero inoxidable de 1/4 pulg.

Sistema de suministro de gas
  • Dos caudalímetros flotantes con un caudal que oscila entre 16 y 160 mL/min
  • Un tanque de mezcla de acero inoxidable incorporado en el interior para una mejor mezcla del gas
  • Tres racores para tubo de 1/4" (nailon o acero inoxidable)
  • Tres válvulas de aguja de vacío fabricadas en SS304

Bomba de vacío ( opcional )
  • El puerto de vacío KF 25 está instalado en la brida del tubo de procesamiento con una válvula para conectarse a una bomba de vacío
  • Se recomienda encarecidamente utilizar una bomba seca para prolongar la vida útil del Mist CVD.
  • Haga clic en la imagen de la izquierda para pedir una bomba si la necesita.
Dimensiones Hornocon tubo 1000 L x 400 W x 390 H (mm)
Generador de ultrasonidos: 240 L x 220 W x 400 H (mm)
Bomba de jeringa: 220 L x 150 W x 160 H (mm)
Sistema de suministro de gas: 360 L x 380 A x 200 A (mm)
Peso neto TBD
Garantía
Garantía limitada de un año con asistencia de por vida (la garantía no cubre las piezas consumibles, como los tubos de procesamiento y las juntas tóricas; pida las de repuesto en los productos relacionados a continuación).
Aplicación
Este tipo de CVD de niebla se puede utilizar para cultivar cristal de Ga2O3 con alta calidad

Conformidad
  • Certificado CE
  • Certificación NRTL o CSA disponible con coste adicional.
Artículo de referencia
Vídeo de funcionamiento
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