MTI  |  SKU: OTF1200XSFB110

Horno CVD de lecho fluidizado (FBCVD) con tubo de cuarzo de 1" de diámetro exterior y brida para CVD de polvos - OTF-1200X-S-FB

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Horno CVD de lecho fluidizado (FBCVD) con tubo de cuarzo de 1" de diámetro exterior y brida para CVD de polvos - OTF-1200X-S-FB

MTI

OTF-1200X-S-FB es un horno vertical de lecho fluidizado con tubo de cuarzo de 1'' de diámetro exterior (área central ampliada de 2'' de diámetro exterior) para aplicaciones de CVD en polvo (FBCVD).. Consiste en una cámara de calentamiento cilíndrica colocada verticalmente que rodea el tubo de cuarzo con un filtro incorporado justo en la sección media inferior de la zona de calentamiento central. Su filtro es una frita de cuarzo porosa (15~40 micras) que permite el paso del flujo de gas controlado y hace flotar las partículas en un cojín de la corriente de gas donde se produce la interacción entre los materiales sólidos y gaseosos.
ESPECIFICACIONES:
Zona fluidizada



  • Proporciona una distribución uniforme del chorro de gas en toda la sección transversal de la cámara tubular
  • Las partículas sólidas quedan suspendidas por un flujo de gas ascendente
  • Excelente transferencia de calor y recubrimiento de cada partícula suspendida
  • Los materiales procesados pueden descargarse por la parte superior del tubo una vez retirada la tapa

Nota: El gas pasa hacia arriba a través del lecho fluidizado a una velocidad lo suficientemente alta como para elevar las partículas. Sin embargo, las partículas pueden ser barridas completamente de la cámara del tubo si la velocidad se ha ajustado demasiado alta. Dependiendo del tamaño de las partículas, puede que desee ajustar el gas en presión y caudal hasta que las partículas se levanten y se muevan turbulentamente en el interior del tubo.

Frita de cuarzo

  • Las fritas con diseño de convección forzada pueden atrapar las partículas dentro de la zona de calentamiento central
  • Frita:15~40 micras porosa, 22 mm de diámetro exterior x 4 mm de grosor
Tubo opcional


  • Puede considerar el tubo de acero inoxidable de alta temperatura SS310 para procesar materiales de alta presión.
  • Temperatura máx. de trabajo 800ºC
  • Presión máx. Presión 3 bares (válvula de sobrepresión integrada de rearme automático y reutilizable)
  • Se puede añadir un sistema de suministro de ALD en el horno superior para el recubrimiento en polvo
Carcasa del horno
  • Estructura de acero de doble capa con refrigeración por aire
  • Diseño de puerta dividida para facilitar la instalación del tubo
  • Aislamiento fibroso de Al2O3 de gran pureza diseñado para un máximo ahorro de energía

Potencia

1200W

Tensión

AC 110V o 220V Monofásico, 50/60 Hz

Temperatura Temperatura

1100oC

Temperatura continua

1000oC

Máx. Velocidad de calentamiento

<= 20 oC/min

Tamaño del tubo y Materiales

  • Se incluye un tubo de cuarzo. Tubo principal con frita inferior y espacio ampliado para el procesamiento de partículas
  • Dos extremos: 25ODx 22 ID (mm); Central: 50O.D. x 44 I.D. (mm), por favor haga clic en la imagen de la izquierda para más detalles
  • El área central ampliada garantiza un alto rendimiento aerodinámico

Bridas de sellado

  • Brida inferior: Brida inferior de 1'' de diseño normal con racor de 1/4'' para introducir el gas primario
  • Brida superior: Brida superior de 1'' de diseño especial con entrada y salida de gas secundario (precursor), haga clic en la imagen de la izquierda para obtener más detalles.


Opciones

  • Existe un sistema opcional de mezcla de gases para el proceso CVD o ALD.
  • Monitorización de oxígeno: Se puede utilizar un sensor de oxígeno para controlar el nivel de oxígeno de los gases utilizados en los sistemas CVD para prevenir o reducir la la oxidación. Haga clic en la siguiente imagen para obtener más información
  • El atomizador ultrasónico puede integrarse en el sistema para suministrar gotas submicrónicas a la zona caliente. Haga clic en la imagen inferior derecha para obtener más información.
  • Alimentador de material opcional para funcionamiento continuo.

Longitud de la zona de calentamiento

200mm (zona única)

Zona de calentamiento constante 60 mm (+/-2oC)

Regulador de temperatura

  • 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
  • Función PID Auto-Tune integrada con protección contra sobrecalentamiento y termopar roto.
  • La protección contra sobretemperatura y la alarma permiten el funcionamiento sin operario(s).
  • Precisión de temperatura de +/- 1 ºC.
  • Controlador de temperatura de precisión Eurotherm 3000 opcional con una precisión de +/- 0,1ºC.
Elementos calefactores
Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo
Conexiones
Se instalaron racores de 1/4'' a ambos lados de la brida parapara la conexión estándar al proveedor de gas

Dimensiones

340mm×300mm×1000mm ( Ancho x Largo x Alto)

Peso neto

~20 Kg (excluyendo el carro móvil)

Dimensiones de envío

48" x 40" 35" (Largo x Ancho x Alto)

Peso del envío