Plantilla de AlN sin dopar sobre zafiro(0001) 10x10mmx5000nm

La plantilla de AlN sobre zafiro se fabrica mediante un método basado en la deposición de nanocristales por vapor de plasma (PVDNC). La plantilla de AlN es una forma rentable de sustituir el sustrato monocristalino de AlN.

Especificaciones

• Tamaños 10mmx10mm
• Sustrato Zafiro Orientación: eje c (0001) +/- 1,0 deg.
• Tipo y dopaje de la película de AlN: Sin dopar, semiaislante
• Densidad de Macro Defectos: <5 ^cm-2
• Acabado de la superficie frontal (cara de Al): As-grown
  
• Acabado de la superficie posterior Acabado de zafiro tal como se recibe
• Superficie útil >90
• Área de exclusión de bordes 1 mm
• Envase Envase de oblea individual
• Al style="color: black;">Espesor de la capa N 5000 nm +/- 5%