Recubridor PVD híbrido en guantera: Una fuente de pulverización RF de 2" + Dos fuentes de evaporación - VTC-H3-GB

Entrada Potencia

• CA 208-240V Monofásica, 50/60 Hz
• 1,5 KW (para guantera); 2,5 KW (para recubridores PVD)
• Total: 4,0 KW

• Dimensiones de la cámara: 1200 mm L x 740 mm A x 900 mm H
• La estación de purificación de gas está incluida para asegurar O2 & H2O menos de 1ppm) en la caja de guantes.
• Material de la caja: Acero inoxidable 304 con 3 mm de grosor
• Dimensiones de la cámara: 1200 mm L x 740 mm A x 900 mm H
• Ventana frontal abrible (vidrio templado de 8 mm de grosor) para facilitar la carga de dispositivos
• Haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones detalladas

• La cámara de vacío está fabricada en SS304 y empotrada en el fondo de la guantera
• La brida superior tiene bisagras y se puede accionar manualmente.
• Dos ventanas de cuarzo están instaladas en la cámara para la observación.
• El cabezal de pulverización de plasma y dos calentadores de evaporación están instalados en la parte inferior de la cámara.
• En la parte superior de la brida hay un portamuestras giratorio que puede alojar una muestra de 4" como máximo. 4" muestra
• Velocidad de rotación: 5 rpm
• Un obturador giratorio está incorporado en la parte inferior de la brida, que cubrirá dos fuentes de recubrimiento durante el trabajo de una fuente para evitar la contaminación cruzada.
  

• Un generador de RF de 13,5 MHz y 300 W con función de adaptación automática está instalado en la guantera exterior y conectado al cabezal de pulverización catódica de 2". (haga clic en la imagen 1 para ver las especificaciones detalladas).
• Un cabezal de pulverización catódica por magnetrón de 2" con camisas de refrigeración por agua se inserta en la cámara de vacío desde la parte inferior de la guantera. (haga clic en la imagen 2 para ver las especificaciones detalladas).
• Se incluye un enfriador de agua de recirculación de 16 L/min controlado digitalmente para la refrigeración de los cabezales de sputtering de magnetrón (haga clic en la imagen 3 para ver las especificaciones detalladas). especificaciones).
• El cabezal de sputtering RF puede a pesar de material aislante o material conductor
• Foto 1 Foto. 2 Foto 3

• Dos calentadores de bobina de tungsteno con dos termopares de tipo B y crisoles de alúmina en el fondo de la cámara de vacío (véase la figura 1).
• Un controlador digital de temperatura con 30 segmentos programables y una precisión de +/- 1 ºC para controlar el calentador (PIC. 2)
• Un interruptor de encendido está instalado para cambiar el calentamiento de un crisol a otro por el mismo controlador de temperatura
• Temperatura de trabajo: 200ºC - 1700ºC
• Velocidad de calentamiento recomendada: 0,3 ºC/s (RT-1200 ºC) y 15 ºC/s (1200ºC - 1700 ºC)
• Se incluyen cuatro crisoles de alúmina (hasta 1700 ºC) y dos calentadores de bobina de tungsteno. Consulte la sección Opcionales para solicitar piezas de repuesto.
• Foto 1 Foto. 2

>Bomba de vacío

• El puerto de vacío del KF25 se instala para conectarlo a una bomba de vacío
• El vacío más alto puede alcanzar <4,0E-6 Torr bombeando durante la noche con la Turbobomba opcional
• El medidor de diafragma de capacitancia anticorrosiva se incluye para un vacío de hasta 1,0E-6 TorPic.1
• Una bomba de vacío es opcional. Haga clic en Pic. 2 o 3 para pedir la bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa ( 10-2 torr) o la turbobomba ( 10-5 torr)
• Foto. 1 Foto 2 Foto 3
  

Monitor de espesor de película in situ
(Opcional)

• Se recomienda un monitor de espesor in situ de alta precisión para el proceso de deposición de películas finas. Se basa en el principio de que la masa de una película depositada sobre un cristal de cuarzo puede medirse monitorizando el cambio en la frecuencia de oscilación del cristal.
• Precisión del espesor: 0,1 Š
• Por favor, haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones detalladas.

Peso neto style="color: #000000; font-size: 8pt;">

Garantía

Conformidad

• Certificado CE
• La certificación NRTL (UL61010) o la certificación CSA están disponibles previa solicitud con coste adicional.

Instrucciones de uso