LSAT (100) Oblea de 2" x0,5 mm --- 1 cara epi pulida
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LSAT (100) Oblea de 2" x0,5 mm --- 1 cara epi pulida
MTI
LSAT (LaAlO3)0.3 (Sr2AlTaO6)0.7 es un cristal de nuevo desarrollo con estructura de perovisquita y sin maclas. LSAT tiene una excelente coincidencia de red con superconductores de alta Tc y muchos materiales de óxido. El LSAT tiene un punto de fusión más bajo y puede cultivarse mediante tecnología CZ a un coste inferior, por lo que se espera que sustituya al LaAlO3 y al SrTiO3 como sustrato monocristalino común para películas finas epitaxiales de óxido destinadas a dispositivos ferroelectrónicos y superconductores magnéticos de ganancia.
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Especificaciones del sustrato:
Tamaño: 2" Dia. +/-0,5 mm x 0,5 mm +/-0,05 mm
Orientación: <100> +/-0.5 Deg
Rugosidad de la superficie: Pulido CMP con mínimo daño sub-superficial , y Ra < 10 A
Embalaje: Embalaje en sala limpia de clase 1000 con bolsa de plástico limpia de grado 100
| Propiedades físicas típicas |
Fórmula química | ( LaAlO3)0.3 (Sr2AlTaO6)0.7 o ( La0.18Sr0.82)(Al0.59Ta0.41)O3 |
Estructura cristalina | cúbica: a = 3.868 Š |
Método de crecimiento | Czochralski |
Densidad | 6,74 g/cm3 |
Punto de fusión | 1840 oC |
Expansión térmica | 10 (x10-6/ oC) |
Constante dieléctrica | ~ 22 |
Color y aspecto | De incoloro a marrón claro según las condiciones de recocido. |
Productos estándar | |
| Sustratos pulidos con epi <100>ori ± 0.5o 1o 2 caras pulidas Ra < 8 Å |
10 x 10 x 0.5mm Tamaños y orientaciones especiales disponibles bajo pedido 5 x 5 x 0,5 mm |
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