MTI  |  SKU: OTF-1200X-II-ZL

Horno de tubo partido de doble zona de 1200C con sistema de alimentación de muestras de hasta 4 crisoles para HPCVD - OTF-1200X-II-ZL

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Horno de tubo partido de doble zona de 1200C con sistema de alimentación de muestras de hasta 4 crisoles para HPCVD - OTF-1200X-II-ZL

MTI

OTF-1200X-II-ZL es un sistema de deposición híbrido PVD y CVD ( HPCVD) con cuatro fuentes de evaporación para la preparación de materiales 2D multicapa hasta 1200oC. El sistema consta de un horno de tubo dividido en dos zonas con un sistema de alimentación de muestras giratorio que puede introducir el crisol en un tubo de procesamiento a la temperatura deseada en las distintas posiciones de la zona de calentamiento. El sistema de alimentación giratorio puede empujar y extraer un crisol con material de evaporación a través del horno tubular de atmósfera controlada y secuencialmente evaporar el material uno a uno hasta hasta cuatro crisoles según el programa. Su pantalla táctil PLC incorporada permite a los usuarios gestionar el método de alimentación y controlar la temperatura de cada muestra. Dos controladores de temperatura PID programables de 30 segmentos proporcionan un excelente control sin sobrepasar la temperatura.

ESPECIFICACIONES:
Estructura del horno
  • Dos reguladores de temperatura independientes para controlar la temperatura de cada zona.
  • La carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire mantiene la temperatura de la superficie del horno por debajo de 60 °C.
  • Aislamiento de alúmina fibrosa de alta pureza para un máximo ahorro de energía.
  • El revestimiento refractario especial de la camisa y la resistencia contribuye a aumentar la vida útil del horno.
  • Cubierta con protección Interlock, corta la corriente si la puerta se abre durante el proceso de calentamiento del horno.
Requisitos de potencia
  • Monofásico 208~240VAC, 3KW (se requiere disyuntor de 20Amp)
Longitud de la zona de calentamiento
  • Dos zonas: la longitud de cada zona es de 200 mm (8")
  • Zona de calefacción total de 400 mm
Temp. constante Zona
  • 150mm (+/-1°C) para cada zona de calefacción
  • Se puede crear una zona de temperatura constante más larga (unos 250 mm) ajustando ambas zonas a la misma temperatura.
  • Haga clic en la imagen de la izquierda para ver el perfil detallado de uniformidad de temperatura a 800°C
Rango de temperatura 100~1100°C (continuo); 1200°C (<1 hora)
Máx. Velocidad de calentamiento ? 20°C /min
Sistema de alimentación giratorio
  • Un termopar se conecta al crisol desde la brida izquierda (fig. 1). El motor paso a paso acciona el crisol para que se desplace por el tubo junto con el termopar para controlar la temperatura en tiempo real.
  • Se pueden colocar simultáneamente cuatro crisoles en el sistema de alimentación giratorio y enviarlos secuencialmente al tubo de cuarzo bajo vacío o gas inerte, uno a uno (imágenes 2, 3 y 4).
  • Foto 1 Foto 2 Foto 3 Foto. 4
Control del movimiento del crisol
  • La velocidad y la distancia de movimiento del crisol se controlan mediante un motor paso a paso.
  • Distancia de desplazamiento del crisol: 1mm ~ 200mm
Controladores de temperatura
  • Dos controladores digitales con 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
  • Función PID Auto-Tune integrada con protección contra sobrecalentamiento y termopar roto.
  • La protección contra sobretemperatura y la alarma permiten el funcionamiento sin ayudante(s).
  • Precisión de temperatura de +/- 1ºC.
  • Dos termopares tipo K (uno para cada zona).
  • Puerto de comunicaciones RS485.
  • Opcional:
    • El horno puede ser operado por PC con un paquete de software de control de temperatura MTS02-Y (incluye 2 chips de comunicación y un portátil de 15").
    • Los controladores Eurotherm 3000 están disponibles con una precisión de +/- 0,1ºC con un coste adicional.
Accesorios para tubos
  • Un tubo de cuarzo fundido tubo de cuarzo fundido (diámetro exterior de 60 mm x diámetro interior de 54 mm x 1000mm L).
  • Se incluyen cuatro crisoles de cuarzo para evaporación
Vacuómetro digital
Vacuum pressure gauges
Bomba de vacío
Sistema de control de flujo de gas
Enfriador de agua
Dimensiones

 2400 mm (largo) x 600 mm (ancho) x 1300 mm (alto)
Garantía Un año de garantía limitada con soporte de por vida. (Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas no están cubiertas por la garantía, por favor encuentre los reemplazos en productos relacionados más abajo).
Ordenador portátil, software y control WiFi (opcional)
  • Ordenador portátil nuevo con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita)
  • Sistema de control de temperatura basado en Labview(EQ-MTS01) permite a los usuarios editar perfiles de temperatura, gestionar recetas de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI.
  • A El mando a distancia inalámbrico ofrece hasta 300 metros de alcance.
  • Las funciones anteriores están disponibles bajo pedido con un coste adicional (hasta 1.000 dólares).
    • Conformidad
    • Certificado CE
    • Certificación NRTL o CSA con coste adicional. (haga clic en las marcas siguientes para obtener más información)
    Notas de aplicación


    Haga clic aquí para conocer el instalación de un regulador de gas.
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