MTI  |  SKU: GZK-PID-103G-LD

Sistema regulador de presión de vacío de precisión con turbo y bomba de respaldo (hasta 10^-6 Torr) - GZK-PID-103G-LD

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Sistema regulador de presión de vacío de precisión con turbo y bomba de respaldo (hasta 10^-6 Torr) - GZK-PID-103G-LD

MTI

El GZK-PID-103G-LD es un sistema de regulación de presión de vacío altamente sensible, compacto y controlado por PID. El sistema consta de una bomba mecánica y una turbobomba, lo que permite dos modos de trabajo diferentes: 1) conseguir un entorno de alto vacío mediante la turbobomba; 2) controlar la salida del flujo de gas mediante la bomba mecánica y el sistema PID para mantener la presión a un nivel constante. Este sistema viene con un transductor de medición de presión para un control preciso de la presión. El sistema es compatible con los hornos MTI para conseguir unas condiciones de presión ideales para los procesos PVD, CVD, PECVD y HPCVD. Este sistema ha sido ampliamente utilizado para aplicaciones como difusión, oxidación, expitaxia, CVD, sputtering por plasma, revestimiento y fusión de fibra óptica.

Especificaciones

Requisitos de potencia
  • 208 ~ 240 VAC, monofásico, 50 ~ 60 Hz.
  • Potencia de entrada: 1,2 kW.
Sistema de bomba de vacío Bomba mecánica
  • Capacidad de bombeo: 400 litros por minuto.
  • Temperatura ambiente: 5 ~ 40 °C (40 ~ 105 F).
  • Nivel de ruido: 58 dB.
Bomba turbomolecular
  • Capacidad de bombeo: 6600 litros por minuto.
  • Presión máxima: 4,5 × 10^-3 mTorr.
  • Presión de arranque: 750 mTorr.
  • Velocidad de rotación: 42300 rpm.
Las bombas se conectan mediante el puerto KF-40.
Sistema de control de la presión
  • Manómetro de diafragma de capacitancia anticorrosiva(EQ-PGC-554-LD).
  • Rango de presión: 3,8 × 10^-5 ~ 1125 Torr.
Sistema de control de presión
 Sensibilidad de control de presión (argón como gas de entrada):
  • 760 mTorr (100 Pa) ~ 225 Torr (30000 Pa) con 500 sccm de gas argón;
  • 600 mTorr (80 Pa) ~ 200 Torr (26660 Pa) con 300 sccm de gas argón;
  • 300 mTorr (40 Pa) ~ 185 Torr (24660 Pa) con 100 sccm de gas argón;
  • 180 mTorr (24 Pa) ~ 100 Torr (13333 Pa) con 50 sccm de gas argón.
Precisión del control de presión:
  • 180 mTorr ~ 2,5 Torr (<±5% de la lectura);
  • 2,5 Torr ~ 10 Torr (<±4% de la lectura);
  • 10 Torr ~ 200 Torr (<±2% de la lectura);
Dimensiones del producto
  • 600 × 745 × 700 mm (largo × ancho × alto).
Peso
  • ~80 kg (175 lbs.).
Garantía
  • Garantía limitada de un año con asistencia de por vida.
Aplicaciones
Instrucciones de uso
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