MTI  |  SKU: ALD-1200X-R-4

Rotation Powder ALD 4" Sistema de horno tubular hasta 1200C - ALD-1200X-R-4

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Rotation Powder ALD 4" Sistema de horno tubular hasta 1200C - ALD-1200X-R-4

MTI

El ALD-1200X-R-4 es un horno de tubo giratorio de 4" que combina válvulasALD de dos canales y un canal de suministro de vapor líquido (deposición de capa atómica), así como cuatro canales de suministro de gas para realizar el recubrimiento de la superficie del polvo mediante ALD y CVD. El diseño inteligente hace ALD más rentable y asequible para cada grupo de investigación.

ESPECIFICACIONES:


Panel de Control
  • Todos los parámetros de vapor, ALD y flujo de gas están integrados en un carro móvil y controlados por PLC a través de un panel de pantalla táctil de 6":
    • Válvula ALD de dos canales
    • Para canales de suministro de gas MFC
  • Haga clic en la siguiente imagen para ver la interfaz de control
Válvula ALD
  • Dos válvulas ALD con controlador de impulsos (duración mínima de 10 ms )
  • Posibilidad de calentamiento con actuadores térmicos
Generador de vapor líquido
  • Se incluye un generador automático de vapor líquido que se conecta a la válvula ALD
Horno de rotación


  • Máximo 1100ºCpara calentamiento continuo
  • Dos controladores digitales de temperatura de precisión programables con 30 segmentos.
  • Potencia de entrada: 208 - 240V AC de entrada, una sola fase a máx. 4KW
  • Velocidad de rotación: 0 - 10 RPM
  • Tubo de cuarzo de 4" como el dibujo de abajo
    Cuatro palas mezcladoras Dimensión
Manómetro anticorrosivo

  • Rango de medición de 3,8x10-5 a 1125 Torr
  • Anticorrosivo, independiente del tipo de gas
  • Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera para una detección fiable de la presión atmosférica
  • La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo del proceso
  • Elemento sensor plug & play fácil de cambiar
  • Haga clic en la imagen para ver las especificaciones detalladas.
Bomba de vacío
( opcional)
  • 10E-2 Torr vacío se puede lograr dentro del tubo de procesamiento
  • La bomba de vacío no está incluida, le sugerimos que pida una bomba seca para el proceso CVD haciendo clic en la siguiente imagen


Más Bubbler
Opcional


  • Haga clic en la imagen de abajo para pedir burbujeador o evaporador para CVD, y abajo a la derecha ( 1-2) para Módulo de control de presión constante(Foto derecha 2)
  • Puede añadir cristal de cuarzoytermopar para controlar el grosor y la temperatura de la película fina con un coste adicional.
Garantía
Garantía limitada de un año con asistencia de por vida (la garantía no cubre las piezas consumibles, como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores; solicite las piezas de repuesto en los productos relacionados a continuación).
Conformidad

  • Certificado CE
  • La certificación NRTL o CSA está disponible bajo petición y con coste adicional.
Aplicación
Instrucciones de uso