SiC - 6H (0001), 5x5x0,33 mm, 2 SP

Especificaciones del sustrato

• Orientación: <0001> +/-0.5
• Dimensiones: 5x5x0,33 +/-0,025 mm
• Pulido: pulido epi por dos lados
• Rugosidad superficial: < 10 A por AFM

Propiedades típicas del SiC monocristalino

• Peso de la fórmula: 40,10
• Célula unitaria: hexagonal
• Constante de red: a =3,08 A, c = 15,117 A
• Secuencia de apilamiento: ABCACB (6H)
• Técnica de crecimiento: MOCVD
• Pulido: cara de silicio pulida
• Brecha de banda: 3,03eV ( Indirecta)
• Tipo de conductividad: N
• TTV/Bow/Warp: <25 um
• Densidad de micropipeta: <30 cm^-2
• Resistividad: 0,02~0,2 ohm-cm
• Constante dieléctrica: e (11) = e (22) = 9,66, e (33) = 10,33
• Conductividad térmica @ 300K: 5 W / cm . K
• Dureza: 9 Mohs
• TTV/Bow/Warp: <25 um
• Densidad Micropipe: <30 cm^-2

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