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FmSOS0505046S2FT10US
Silicio sobre zafiro (11-02, Plano R ), 5mmx 5mmx0,46 mm,2sp, Film:1,0um espesor
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Silicio sobre zafiro (11-02, Plano R ), 5mmx 5mmx0,46 mm,2sp, Film:1,0um espesor
MTI
El silicio sobre zafiro (SOS) es un material heteroepitaxialheteroepitaxial para circuitos integradosde circuitos integrados que consiste en una fina capa (normalmente inferior a 0,6 micrómetros) de siliciosobre una capa de zafiro (Al2O3). El SOS forma parte del Silicio sobre aislante (SOI) de la familia TECNOLOGÍAS CMOS CMOS. SOS se utiliza principalmente en aeroespacial y militares debido a su inherente resistencia a la radiación.
Materiales: Silicio sobre zafiro
Materiales: Silicio sobre zafiro
Capa EPI desilicio:
- Silicio Orientación: (100)
- Tipo, Dopante: Tipo intrínseco, no dopado
- Espesor del silicio:1,0 um +/- 10%
- Resistividad: > 100 ohm.cm
- Densidad de micropartículas ( para partículas > 2 um) < 2/cm^2
Oblea de zafiro:
- >Plano R-- (1-102) con plano único
- Tamaño de la oblea: 5x5 x 0,46 mm de grosor
- Superficie frontal: Epi-pulida (Ra < 4 nm)
- Superficie posterior: Pulido de grado óptico
- TTV < 15 um, Arco < 20 um, Deformación < 20 um, Planitud (TIR) < 12 um
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