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FmPt150Ti10SO300onSiBa050505
Lámina delgada de SiO2+Ti+Pt (111) sobre sustrato de Si, 5x5x0,525mm, 1sp, tipo P, dopada con B, (SiO2=300nm, Ti=10nm, Pt(111)=150nm)
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Lámina delgada de SiO2+Ti+Pt (111) sobre sustrato de Si, 5x5x0,525mm, 1sp, tipo P, dopada con B, (SiO2=300nm, Ti=10nm, Pt(111)=150nm)
MTI
Especificaciones de la oblea de silicio:
- Película: Lámina delgada de SiO2+Ti+Pt(111) sobre sustrato de Si (100) (tipo P), 5x5x0,525 mm,1sp
- SiO2=300nm
- Ti=10nm
- Pt(111)=150nm
- Resistividad: 1-20 ohm.cm (Si desea medir la resistividad con precisión,
pida nuestro Resistivímetro portátil de 4 sondas.) - Tamaño del sustrato: 5x5x 0,525 mm
- Pulido: una cara pulida
- Rugosidad de la superficie: < 20 A RMS
- Presupuesto térmico máximo de la película de Pt: < 700-750 grados C/ 1 hora
- Opcional: puede que necesite la herramienta de abajo para manejar la oblea ( haga clic en la imagen para pedir )
