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FmPt150Ti10SO300onSiBa50D05C1
SiO2+Ti+Pt(111) película delgada sobre sustrato de Si ,2 "x0.279mm,1sp P-type B-doped.R:1-20 ohm.cm
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SiO2+Ti+Pt(111) película delgada sobre sustrato de Si ,2 "x0.279mm,1sp P-type B-doped.R:1-20 ohm.cm
MTI
Especificaciones de la oblea de silicio:
- Película: Película fina de SiO2+Ti+Pt(111) sobre sustrato de Si (100) (tipo P) ,2 "x0,279mm, 1 cara pulida (1sp)
- SiO2=300 nm
- Ti=10 nm
- Pt(111)=150 nm
- Resistividad: 1-20 ohm.cm (Si desea medir la resistividad con precisión,
pida nuestro Resistivímetro portátil de 4 sondas.) - Tamaño del sustrato: 2" de diámetro +/- 0,5 mm x 0,279 mm
- Pulido: una cara pulida
- Rugosidad de la superficie: < 20 A RMS
- Presupuesto térmico máximo de la película de Pt: < 650-700 grados C / 1 hora
- Opcional: es posible que necesite herramienta de abajo para manejar la oblea ( haga clic en la imagen para pedir )
