Estructura del horno
| - Aislamiento de fibra de alúmina de alta pureza para un máximo ahorro de energía
- Tres zonas de calentamiento para conseguir una zona de temperatura constante de 600 mm hasta 1100ºC.
- Tubo de cuarzo de 8,5" de diámetro exterior y 8" de diámetro interior con bridas selladas al vacío
- Un raíl deslizante accionado por un motor de CC facilita la carga de la barca de grafito y las muestras
- La barca de grafito de alta pureza puede transportar hasta 12 obleas circulares o rectangulares de 6".
- Se incluye una fuente de alimentación de RF de 1000 W (13,5 MHz) para la generación de plasma.
- Se incluye un sistema de mezcla y suministro de gas de cuatro canales para la deposición de precursores
- Una bomba de vacío (tipo aceite o seca) está disponible bajo pedido.
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| Potencia | - 208-240 VCA, monofásica, 50/60 Hz
- 9 kW
- El cable de alimentación se incluye sin enchufe. MTI puede ayudar al cliente a añadir un enchufe con un coste adicional.
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Tubo y bridas de cuarzo
| - 8.5" D.E. x 8.2" D.I. x 51" Longitud
- Un tubo de cuarzo está incluido, y el tubo de repuesto está disponible como una opción ( haga clic en la imagen a la izquierda para ordenar )
- Las bridas SS304 se incluyen con el puerto y la válvula de vacío KF40 y la entrada y salida de gas están incluidas
- Los raíles deslizantes dobles incorporados y el motor de CC impulsan la brida y el bote de muestras hacia dentro y hacia fuera
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Bote de grafito
| - Barco de grafito fabricado en grafito de alta pureza (Japón) con electrodos de RF
- 12 ranuras 4x3 ) para llevar obleas de 6" x6" x0,5 mm o 6" de diámetro
- Barco de grafito personalizado ( 4x4 o 5 x4 ) está disponible bajo petición con un coste adicional
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Horno
| - Elemento calefactor: Alambre de resistencia NiCrAl
- Zona de calentamiento: Tres zonas de calentamiento ( 300 mm + 300 mm + 300mm )
- Zona de temperatura constante: 600 mm dentro de +/- 2ºC ( Si 3 zona a la misma temp.)
- Temperatura de trabajo: 400 -1100°C
- Máx. velocidad de calentamiento/enfriamiento: 10°C/min
- Haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones del horno.
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Controladores de temperatura
 | - Tres controladores de temperatura Eurotherm 3000 con 24 segmentos programables
- Tres pares térmicos tipo K instalados.
- Precisión de temperatura: +/- 0.1°C
- Se incluyesoftware y módulo de interfaz para PC
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Generador de plasma de RF
 | - Potencia de salida: 20 -1000W ajustable con ± 1% de estabilidad
- Frecuencia RF: 13,56 MHz ±0,005% de estabilidad
- Adaptación: Automática con condensador de aire variable
- Refrigeración: Refrigeración por aire
- Ruido: <50 dB
- Alimentación: 110 - 240VAC, 50/60Hz
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Sistema de suministro de gas
 | - Cuatro MFC integrados en un carro móvil conprecisión: ±1,5% SCCM yrepetibilidad: ±0,2% SCCM
- Controlador 1: 0~100 SCCM
- Controlador 2: 1~199 SCCM
- Controlador 3: 1~199 SCCM
- Controlador 4: 1~499 SCCM
- Panel de pantalla táctil para parámetros de suministro de gas
- Puerto RS485 instalado para control remoto por PC
- Software personalizado está disponible para que coincida con los recibos bajo petición a un costo adicional.
- La gama de cada MFC es intercambiable con un coste adicional.
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| Bomba de vacío y manómetro | - Se incluye un vacuómetro anticorrosión de hasta 10-5 torr
- Se requiere una bomba de vacío, pero no incluido. Por favor, haga clic en las fotos de enlace para pedir
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 Vacuómetro Bomba de aceite  Bomba de desplazamiento en seco
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| Dimensiones del producto |  Haga clic en la imagen para ver el detalle. |
| Peso neto | ~ 500 Kg |
| Dimensiones de envío | 70" x 70" x 65" |
| Peso del envío | ~600 Kg |
| Garantía | Un año de garantía limitada para la parte electrónica y mecánica, excluyendo el elemento calefactor y el tubo cerámico dañados por el usuario |
| Conformidad | - Certificado CE
- Certificación NRTL o CSA disponible bajo pedido
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Diagrama esquemático y
Vídeo de demostración | |
