Oblea de óxido térmico: Capa de SiO2 de 300 nm sobre Si (100), 3 "dia x 0,50 mm t,tipo N no dopado, 1SP R:>1000 ohm.cm

Capa de óxido térmico

• Grado de investigación , alrededor del 80 % de superficie útil
  
• Capa de SiO2 sobre oblea de silicio de 3
• Espesor de la capa de óxido 300 nm ( 3000A) +/-10%
• Índice de refracción - 1.455

Especificaciones de la oblea de silicio:

• Tipo conductor: Tipo N/ un-dped
• Resistividad: >1000 ohm.cm
• Tamaño: 3" de diámetro +/- 0,5 mm x 0,5 mm
• Orientación: (100) +/- ^1o
• Pulido: una cara pulida
• Rugosidad superficial, Ra: < 5A (RMS)

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