Oblea de óxido térmico: Una cara 300 nm SiO2 Capa sobre Si (100), 4 "dia x 0.50 mm t,no dopado tipo N, 1SP R:>5000 ohm.cm

Capa de óxido térmico

• Grado de investigación , alrededor del 80 % de área útil
• Capa de SiO2 de una cara sobre oblea de silicio de 4
• Espesor de la capa de óxido 300 nm ( 3000A) +/-10%
• Índice de refracción: 1,455

Especificaciones de la oblea de silicio:

• Tipo conductor: Tipo N/ un-dped
• Resistividad: >5000 ohm.cm
• Tamaño: 4 "dia +/- 0.5 mm x 0.5 mm
• Orientación: (100) +/- ^1o
• Pulido: una cara pulida
• Rugosidad superficial, Ra: < 5A (RMS)

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