MTI  |  SKU: OTF-1200X-III-80-F3LV

Horno de tubo de cuarzo de tres zonas (80 mm de diámetro, 1200C máx.) con mezclador de gas de 3 canales, bomba de vacío y vacuómetro anticorrosivo - OTF-1200X-III-80-F3LV

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Horno de tubo de cuarzo de tres zonas (80 mm de diámetro, 1200C máx.) con mezclador de gas de 3 canales, bomba de vacío y vacuómetro anticorrosivo - OTF-1200X-III-80-F3LV

MTI

OTF-1200X-III-80-F3LV es un horno tubular de tres zonas divisible con una bomba de vacío mecánica, un vacuómetro digital y un sistema de flujo de gas de tres canales, que puede alcanzar un vacío de hasta 10-2 torr y mezclar 1-3 tipos de gases para CVD o difusión. Este sistema de horno también incluye un medidor de diafragma de capacitancia Pirani anticorrosivo para permitir mediciones de vacío con gases agresivos.

ESPECIFICACIONES

Construcción del horno
  • Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire
  • Aislamiento de fibra de alúmina de gran pureza para un máximo ahorro de energía
  • Tapa divisible para facilitar la sustitución de los tubos

Consumo de energía

5 KW

Voltaje de entrada

CA 208-240V Monofásica, 50 o 60 Hz

Temperatura máxima

1200 oC

ContinuousTemperature

1100 oC

Velocidad máxima de calentamiento

<= 20 oC/min

Longitud de la zona de calentamiento

  • Tres zonas: (880mm, 35" en total)
    • Zona 1: 220mm (8.6" )
    • Zona 2 440mm (17.3")
    • Zona 3 220 mm (8,6")

Zona de temperatura constante

  • Si se ajustan tres zonas a la misma temperatura, la zona de temperatura constante tiene una longitud de 625 mm (25") con una discrepancia de temperatura de +/- 1oC.
  • Si sólo se utiliza una zona (zona central), la zona de temperatura constante es de 110 mm (4,3") de largo con una discrepancia de temperatura de +/- 1oC.

Precisión de la temperatura

+/- 1oC

Elementos calefactores

Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo

Controlador de temperatura

  • Tres controladores de temperatura de precisión para controlar tres zonas por separado.
  • Control automático PID con 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
  • Protección integrada contra sobrecalentamiento y rotura del termopar.
  • La protección contra sobretemperatura y la alarma permiten el funcionamiento sin operario(s).
  • Precisión de temperatura de +/- 1 ºC.
  • Puerto de comunicaciones RS485.
  • Opcional:
    • El horno puede ser operado por PC instalando tres módulos de control. Por favor, solicite los módulos de control MTS-02 con un coste adicional.
    • La nueva versión del módulo PC es ahora compatible con Lab View 05/08/2014
    • Si pide el módulo de control PC junto con el horno, le instalaremos y lo probaremos antes del envío. Le recomendamos que nos pida un ordenador portátil para evitar problemas de instalación del software. Para más información haga clic aquí.


Tubo de cuarzo& Bridas de estanqueidad
Sensor de vacío y pantalla

Brida deslizante con portamuestras
Bridas de sellado al vacío

  • Dos bridas de acero inoxidable con manómetro de vacío y válvulas incluidas.
  • La presión mínima de vacío alcanzada por la bomba mecánica es de 5,5 m-torr. ( 5,5x10^-3 torr). La presión puede alcanzar 10^-5 torr utilizando una bomba mecánica + molecular.
  • La tasa de fuga es < 5 m-torr / min. y la presión de vacío estable después de 24 horas es < 2 torr.
  • Haga clic en la imagen de abajo para obtener un gráfico detallado y los datos medidos por el medidor de vacío certificado CE:

(Para una curva completa de 24 horas, el segmento de tiempo a través de 08:00:00 ~ 21:10:00 en el eje X se pasa por encima en el gráfico, por lo tanto, la variedad empinada en allí)

Monitorización de oxígeno

Un Sensor de Oxígeno puede utilizarse para controlar el nivel de oxígeno de los gases utilizados en los sistemas CVD para prevenir o reducir la oxidación. Haga clic en la siguiente imagen para obtener más información:

Bomba de vacío

  • Se incluyeuna bomba de vacío de paletas rotativas de 120 L/m con una presión de vacío máxima de 10^.-2torr. Se incluye un tubo flexible de acero inoxidable para la conexión al horno tubular.
  • Opción: Para un control preciso de la presión de vacío, le recomendamos que elija nuestra solución llave en mano EQ-VPC-MV. Se trata de un sistema de regulación de la presión de vacío con válvula motorizada y manómetro. Controla un rango de presión de 10^-6 torr ~ 760 torr.


Medidor de flujo de gas y medidor de presiónNew Version front panel
  • Tres caudalímetros de gas (4% de precisión FS) se instalan en el interior de la maleta móvil para permitir el control de los caudales de gas (tres tipos diferentes de gases en total).
    • Caudalímetro compacto de lectura directa, 10-100 cc/min.
    • Caudalímetro compacto de lectura directa, 16-160 cc/min.
    • Caudalímetro compacto de lectura directa, 25-250 cc/min.
  • Cuatro medidores de presión instalados en el interior del carro móvil, capaces de controlar tres tipos de presión de gas fluyente, así como la presión del depósito de mezcla.
Válvulas En el panel lateral del carro móvil hay instaladas cuatro válvulas de acero inoxidable para controlar la mezcla de los tres gases de entrada por separado.

Dimensiones

  • Horno: 1100 X 450 x 670 mm
  • Caja móvil inferior600x600x597 mm

Peso de transporte

850 Lbs

Dimensiones de envío

Total Tres Paletas
#1: 60" x 45" x 40"
#2: 48" x 40" x 42" (48" x 40" x 42")
#3: 48" x 40" x 42"

Garantía

Un año de garantía limitada del fabricante (las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, por favor pida repuestos en productos relacionados más abajo).