Horno tubular de tres zonas (4") con bomba de vacío (1,0E-4 torr) + caudalímetros digitales de gas de 9 canales para CVD - OTF-1200X-4-III-9HV

OTF-1200X-4-III-9HV es un horno tubular de tres zonas dividido de 4" de diámetro con certificación CE, con sistema de bomba de vacío (hasta 10-4 torr) y sistema de control de gas de caudalímetros másicos digitales de precisión PLC Touch Panel de 9 canales, que puede controlar nueve tipos de gases para CVD o difusión(Actualizado con sistema de control de gas PLC Touch Panel desde el 3 de agosto de 2015 ).

Especificaciones

Horno	Estructura	Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire. Revestimiento de fibra de alúmina de alta pureza para un funcionamiento rentable desde el punto de vista energético. Tres zonas de calentamiento con tres controladores de temperatura independientes. El sistema de vacío y de mezcla de gases se encuentra en la parte inferior Carro móvil con 4 ruedas.
	Elemento calefactor	Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo
	Max. Temp. calentamiento	1200°C
	Temp. calentamiento continuo	1100°C
	Máx. Velocidad de calentamiento	<=20°C/min
	Longitud de la zona de calentamiento	Tres zonas: (880 mm, 35" en total) Zona 1: 220 mm + Zona 2: 440 mm + Zona 3: 220 mm
	Temp. constante Constante	20" (500 mm) de longitud (tres zonas a igual temperatura dentro de +/- 1°C)
	>Tamaño y materiales del tubo	Tubo de cuarzo fundido 100 mm de diámetro exterior x 92 mm de diámetro interior x 1400 mm
	Temp. Controlador	Tres controladores de temperatura digitales de precisión programables con 30 segmentos, que controlan cada zona de calentamiento por separado. PID ajustable con función de autoajuste para garantizar la estabilidad de la temperatura dentro de +/ - 1 oC. Protección total en cada controlador para sobretemperatura y rotura del par térmico.
	Termopar	Tres termopares de tipo K
	Entrada de alimentación	CA 208~240V, monofásica, 50/60Hz, 7KW máx.
Accesorios de vacío	Los accesorios de vacío estándar incluyen: Dos bridas de vacío de acero inoxidable con conector de bomba KF-25, dos válvulas de aguja y un conector de tubo Swagelok de 1/4". Seis piezas de junta tórica de silicona de alta temperatura para uso por debajo de 300°C. Se incluyen dos pares de termobloques de alúmina para proteger la brida de la radiación térmica. Un fuelle de vacío KF-40. Tres abrazaderas rápidas KF-40. Dos abrazaderas rápidas KF-25.
Estación de alto vacío Estación de alto vacío	Estructura	Tamaño del carro móvil: 600 (L) x 600 (An) x 700(Al), mm Max. Carga: 600 Lbs en la parte superior Panel de control de la bomba molecular: LCD digital Interior: Bomba de vacío Pfeiffer Made in Germany Sensor de vacío incluido
	Sensor de vacío	Elsensor de vacío tiene un conector KF-25. Vacuómetro de alto vacío (rango de medición 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
	Panel de control	Funcionamiento con un solo botón - la bomba de membrana y la bomba turbomolecular se pondrán en marcha tras pulsar el botón "start". Velocidad de giro controlada por elsistema - el controlador controlará la velocidad de giro de la turbina hacia arriba y hacia abajo según el nivel de vacío y la tasa de fuga de la cámara de reacción. Autoprotección - el sistema protegerá la bomba de daños por sobrecalentamiento y sobrecorriente si la tasa de fuga de la cámara de reacción es demasiado alta para alcanzar el alto vacío. Pantalla LCD -interfaz de comprobación de parámetros de dos líneas facilitan el manejo del trabajo. Autodiagnóstico Girando arriba Informe de error Voltímetro Velocidad máxima
	Caudal	Nitrógeno N2 33 L/s Helio He 39 L/s (2340L/minuto) Hidrógeno H2 32 L/s
	Rango de trabajo	De 1000 mbar a <1E-7 mbar
	Presión máxima	10^-5 torr (con horno tubular)
	Entrada de alimentación	110 V CA o 220 V CA conmutable, 50/60 Hz
	Potencia absorbida	Duración/Potencia máxima: 100/110 vatios
Estación MFC Controlador de caudal másico	9 controladores de caudalímetros másicos de precisión se instalan en el carro móvil inferior con el panel de visualización digital de +/-1,5% del fondo de escala. Controlador 1: 0~100 SCCM Controlador 2: 1~199 SCCM Controlador 3: 1~199 SCCM Controlador 4: 1~499 SCCM Controlador 5-9: el rango de medición se puede personalizar bajo petición La gama de control de caudal se puede personalizar. Póngase en contacto con nosotros para obtener información detallada.
Piezas opcionales	Haga clic en la imagen de abajo - izquierda para pedir burbujeador o evaporador para CVD
Conexión de tubo de gas	Se instala un racor Swagelok de 1/4" en la brida izquierda como entrada de gas. Cada estación MFC tiene cuatro conexiones de tubo Swagelok de 1/4". Y cuatro válvulas on/off para cada ruta de gas. La quinta se utiliza como salida de gas. El tubo de gas de 1/4" PTFE está incluido en el paquete estándar. [Opcional] Si necesita un tubo de gas de 1/4" de acero inoxidable, haga clic aquí para pedirlo.
Información de envío	Dimensiones	Horno: 550 x 380 x 520mm Estación MFC: 600 x 600 x 700mm Estación HV: 600 x 600 x 700mm
	Peso	Peso neto: 100Kg Peso de envío: 350 lb (dos palets)
Garantía	Garantía limitada de un año (la garantía no cubre las piezas consumibles, como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores; solicite las piezas de repuesto en los productos relacionados a continuación).
Conformidad	Certificado CE/UL/CSA Seleccione el certificado en la barra de opciones: Certificado CE & UL/CSA listo para pasar el certificado UL/CSA con coste adicional Certificado UL - Aprobaciones UL (UL 61010)
Advertencia Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas	Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y baja presión < 0,12 MPa (presión absoluta) Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro. Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas. El caudal de gas debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo. Definición del límite de vacío para todos los hornos tubulares de cuarzo: * Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
Instrucciones de uso	Instrucciones de prueba rápida