MTI  |  SKU: TM106-LD

Monitor in situ de espesor de película fina / velocidad de deposición con software y sensor opcional, cristales de cuarzo - TM106-LD

€448.040,00

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Monitor in situ de espesor de película fina / velocidad de deposición con software y sensor opcional, cristales de cuarzo - TM106-LD

MTI

EQ-TM106-LD es un sensor/monitor de espesor de alta precisión para el proceso de deposición de películas finas. Se basa en el principio de que la masa de una película depositada sobre un cristal de cuarzo puede medirse monitorizando el cambio en la frecuencia de oscilación del cristal. Si se conoce la densidad del material depositado, se puede determinar el espesor con una alta resolución sub-Angstrom (0,037 Å para este equipo).


ESPECIFICACIONES:
Potencia
  • 5 VDC, 400 mA
Gama de frecuencias
  • 6,0 a 5,0 MHz (fija)
Resolución de frecuencia
  • +/- 0,03 Hz a 6 MHz
Medición Velocidad
  • Hasta 10 mediciones por segundo
Estabilidad de la frecuencia de referencia
  • +/- 2 ppm
Resolución de espesor y frecuencia
  • +/- 0,037Å@tooling= 100%, densidad = 1,00 g/cm3, relación Z = 1,00, frecuencia = 6,0 MHz
Resolución de visualización
  • 0.1 Š
Temperatura de funcionamiento
  • 0 a 50°C
Requisitos de caudal de agua
  • Caudal mínimo de agua 150-200 cc/min, 30° C máx.
Alimentación de agua
  • Tubería de 3,0 mm (1/8 pulg.) de diámetro exterior
Paquete estándar
  • Se incluye el sensor con el soporte de cuarzo.
  • 6? Cable BNC M/F está incluido
  • Se incluye un adaptador de conector hembra SMA a conector hembra de mamparo (para los sistemas de deposición de película de MTI, paso con adaptador hembra SMA (en la cámara de deposición) a hembra BNC (fuera de la cámara))
  • Cristales de cuarzo de oro de un juego (10 PCS) está incluido.
Soporte de cuarzo 6? Cable BNC-J3 hembra a
SMA-J3 hembra		 Adaptador de mamparo SMA Cristales de cuarzo dorados
Cristales de cuarzo (opcional)
Aleación
  • Frecuencia inicial: 6 MHz
  • Tamaño del cristal: 14 mm Dia.
  • Patrón de electrodos de anclaje para máxima estabilidad y vida útil del cristal
  • Electrodo de oro y aleación de cuarzo Los cristales se pueden pedir en MTI (Haga clic en las imágenes de abajo o seleccione las opciones de producto)
  • Elija el cristal de cuarzo con el material de electrodo adecuado para su aplicación - oro, plata, aleación
    • Recomendamos cristales de electrodos de oro para la mayoría de las aplicaciones
    • Los cristales de electrodos de plata funcionan bien para procesos con altas cargas térmicas, como el sputtering
    • Los cristales de electrodos de aleación se recomiendan para la deposición de alta tensión, como el recubrimiento óptico con materiales dieléctricos y los procesos de semiconductores con materiales de alta tensión.
Sistema operativo
  • Windows 8, Windows 7, Windows Vista, Windows XP, Windows 2000
Software
  • El software STM-2 está incluido (el enlace de descarga también está disponible aquí)
  • Elsoftware de aplicación STM-2 LabVIEW™ está disponible aquí.
  • Un portátil adicional ($699) con software preinstalado es muy recomendable y se puede pedir en MTI class="img hoverZoomLink" rel="lightbox" href="https://cdn.shopify.com/s/files/1/0638/4664/6008/files/Software.1.jpg" style="espacio entre letras: 0pt; word-spacing: 0pt; font-family: arial, helvetica, sans-serif; font-size: small;">
Instalación
Conformidad Certificado CE (ensamblado en EE.UU.)
Dimensiones de producción
  • Tamaño del monitor: 114 mm de largo x 76 mm de ancho x 25 mm de alto
  • Soporte de cuarzo: 325 mm Largo x 25 mm Ancho x 15 mm Alto
Peso del monitor
  • 57 g
Garantía
  • Garantía limitada de un año con asistencia de por vida
Instrucciones de uso
Aplicación Notas

  • Si necesita comprobar la resistencia de un revestimiento del electrodo a agrietarse o desprenderse de un sustrato, haga clic para solicitar el comprobador de flexibilidad.
  • Se puede adquirir un pasamuros para el monitor de espesor TM106. Si necesita un alimentador personalizado, envíenos un correo electrónico para obtener más información.
  • Dibujo FlexibilityTest Aplicación para Sputtering Feedthrough

LISTA DE PIEZAS:
No. DescripciónCantidad
1
 Monitor de velocidad/espesor STM-2 1
2
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