Sistema de horno tubular ALD 4" de dos canales hasta 1200C - ALD-1200X-4

• Consulte "Negating Interfacial Impedance In Garnet Based Solid-State Li Metal Batteries" publicado por NATURE Materials, 19 de diciembre de 2016, en el que se utilizó la técnica ALD.

ALD-1200X-4 es un horno tubular de 4" que combina válvulasALD de dos canales y un canal de suministro de vapor líquido (deposición de capas atómicas), así como un sistema de suministro de gas de cuatro canales para el crecimiento CVD de nanomateriales y películas pi. El diseño inteligente hace que ALD sea más rentable y asequible para todos los grupos de investigación.

ESPECIFICACIONES:

Panel de control	Todos los parámetros de tiempo de pulsos de vapor ALD y flujo de gas son controlados por PLC a través de un panel de pantalla táctil de 6" en un carro móvil. Control de dos válvulas ALD con tiempo de duración de pulsos y ciclos con precisión de mico-segundos Control de los canales de suministro de gas con ±0,2% F.S a través de MFC Visualización de la presión de vacío Otros parámetros a petición del cliente Por favor, haga clic en la imagen de abajo para ver la interfaz de control
Válvula ALD	Dos válvulas ALD con controlador de impulsos (duración mínima de 10 ms) Posibilidad de calentamiento con actuadores térmicos
Horno de tubo dividido de doble zona	Máximo 1100ºCpara calentamiento continuo Dos controladores digitales de temperatura de precisión programables con 30 segmentos. Dos zonas de calentamiento controladas por separado 200 mm de longitud para cada zona de calefacción 400 mm de longitud total de calefacción 250mm de superficie de calefacción a temperatura central constante si ambas zonas se calentaran a la misma temperatura 500º C de diferencia de temperatura máxima entre dos zonas con bloques térmicos entre ellas Potencia de entrada: entrada de 208 - 240 V CA, monofásica a máx. 4KW Opcional: El sistema de control ALD puede instalarse con un horno de tubo corto o un horno de tubo giratorio, tal como se muestra en la siguiente imagen
Manómetro anticorrosivo	Rango de medición de 3,8x10-5 a 1125 Torr Anticorrosivo, independiente del tipo de gas Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera para una detección fiable de la presión atmosférica La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo del proceso Elemento sensor plug & play fácil de cambiar Haga clic en la imagen para ver las especificaciones detalladas.
>Bomba de vacío (opcional)	10E-2 Torr se puede conseguir vacío dentro del tubo de procesado No se incluye una bomba de vacío, le sugerimos que pida una bomba seca para el proceso CVD haciendo clic en la imagen de abajo
Más Bubbler Opcional	Haga clic en la imagen de abajo para pedir burbujeador o evaporador para CVD, y abajo a la derecha para Módulo de control de presión constante Puede añadir cristal de cuarzoytermopar para controlar el grosor y la temperatura de la película fina con un coste adicional.
Idea de actualización	Puede utilizar el dispositivo ALD para construir un sistema híbrido ALD+CVD mejorado por plasma y ALD+PVD+CVD para cultivar materiales complejos y ALD en polvo con horno de rotación. (PE-ALD+CVD) (PE-ALD+PVD +CVD)
Garantía	Garantía limitada de un año con asistencia de por vida (la garantía no cubre las piezas consumibles, como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores; solicite las piezas de repuesto en los productos relacionados a continuación).
Conformidad	Certificado CE y certificación NRTL o CSA disponibles bajo pedido con coste adicional.
Notas de aplicación Haga clic aquí para saber cómo a un regulador de gas	Los hornos tubulares con tubos de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bares / 3 psi Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 psi para un funcionamiento seguro. Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas. El caudal de gas debe limitarse a < 200 SCCM para reducir los choques térmicos en el tubo. Definición del límite de vacío para todos los hornos tubulares de cuarzo: * Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C Haga clic aquí para saber Cómo configurar el tubo de cuarzo/cerámica y la brida de vacío para el horno tubular MTI.
Aplicación	Utilización de ALD para reducir significativamente la elevada impedancia interfacial sólido-sólido entre el electrolito de granate y los materiales del electrodo. Artículo relacionado: Reducción de la impedancia interfacial en baterías de Li-metal de estado sólido basadas en granate
Instrucciones de uso