ALD Furnace

MTI

Sistema di deposizione a strato atomico potenziato da plasma a 800°C (PE-ALD) con stadio rotante da 4" - ALD-800X-4-PE

MTI

Sistema di forni tubolari combinati ALD e PECVD - OTF-1200X-ALD

MTI

Sistema di forni tubolari ALD a polvere di rotazione da 4" fino a 1200C - ALD-1200X-R-4

MTI

Sistema di forni tubolari ALD a due canali da 4" fino a 1200C - ALD-1200X-4