Silicon-Nitride on Silicon

MTI

Film di nitruro di silicio da 1000 nm (LPCVD) su Si(100), tipo P, drogato B, diametro 100 mm x0,525 mm, spessore 1sp, R:1-20 ohm.cm

MTI

300 nmFilm di nitruro di silicio (LPCVD) su Si(100), tipo N, drogato P, diametro 100 mm x0,525 mm, 1sp, R:1-20 ohm.cm - FmSi3N4onSiPa100D0525C1FT300

MTI

Film di nitruro di silicio da 100 nm (PE-CVD) su Si(100) di tipo P, drogato B, diametro 100 mm x 0,525 mm, spessore 1sp, R: 0,001-0,005 ohm.cm - FmSi3N4onSiBa100D0525C1FT100