Rivestitore a sputtering al plasma con magnetrone da 2”, ad alto vuoto, a 3 teste, DC/RF - VTC-600-3HD-LD

• 208-240 V CA, monofase, 50/60 Hz, 1500 W

• Tre sorgenti di potenza per sputtering
• Due sorgenti CC: potenza di 500 W per il rivestimento di materiali metallici 
• Una sorgente RF: potenza di 300 W, frequenza di 13,56 MHz per il rivestimento di materiali non conduttivi

Testa di sputtering a magnetrone

• Tre teste di sputtering a magnetrone da 2" con camicie di raffreddamento ad acqua e otturatori
  • Due sono collegate alle sorgenti CC per i materiali metallici
  • Una è collegata alla sorgente RF per i materiali non conduttivi
  • Dimensioni del bersaglio: 2" di diametro con uno spessore compreso tra 0,1 e 5 mm
    
  • I target di sputtering sono opzionali
  • Ricetta di sputtering consigliata e consigli utili
• È disponibile il modello con
  2 teste RF
• È possibile ordinare un cavo RF aggiuntivo da 148 cm a un costo aggiuntivo per la sostituzione
• Su richiesta è disponibile un sistema di sputtering a quattro teste (Fig. 5)

Camera a vuoto

• Camera a vuoto in acciaio inossidabile: Ø300 × 300 mm H
• Un oblò in vetro da 100 mm. 
• Flangia superiore incernierata per un facile accesso al campione
• Ecco una panoramica della camera a vuoto
  
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Tavolino portacampioni

• Supporto campione rotante e riscaldabile fino a 500 °C, Ø 140 mm 
• Velocità di rotazione: 1 - 20 giri/min
• Regolatore di temperatura
  programmabile a punto singolo
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Controllo del flusso di gas

• Due regolatori di portata massica (MFC)
• Portata: 0 – 200 sccm
• calibrato con azoto
• Porta di sfiato da 1/4".

Stazione di pompaggio per vuoto

(Opzionale)

• Per bersagli sensibili all’aria, quali Al, Ti, Cr, ecc., o con pressione di base <1e-2 torr, si raccomanda l’uso di una stazione di pompaggio
• Pompa turbo. 
  • pompa turbomolecolare da 63 L/s, oppure
  • pompa turbomolecolare da 260 L/s
• Pompa di supporto
  • Pompa rotativa a palette da 240 L/min, oppure
  • pompa a spirale a secco da 200 L/min

Refrigeratore d’acqua

(Opzionale)

• È necessaria acqua refrigerata
• Si consiglia l’uso di un refrigeratore d’acqua a ricircolo con controllo digitale della temperatura
• Intervallo di refrigerazione: 5~35 °C
• Portata: 16 L/min
• Pressione della pompa: 14 psi

Misurazione dello spessore del film

(Opzionale)

• La microbilancia a cristallo di quarzo per la misurazione in situ dello spessore del film è opzionale. Precisione fino a 1 Å

Conformità

• Omologazione CE
• La certificazione NRTL è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo; si prega di contattare il nostro rappresentante commerciale per il preventivo.

Nota applicativa

• Questo dispositivo di rivestimento può essere inserito in una camera a guanti standard previa modifica per la ricerca sulle batterie a film sottile
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