MTI  |  SKU: OTF1200XIIRTP

Forno CSS a due zone per la lavorazione termica rapida fino a 3" di diametro e massimo 650°C. 650°C. - OTF-1200X-RTP-II

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Forno CSS a due zone per la lavorazione termica rapida fino a 3" di diametro e massimo 650°C. 650°C. - OTF-1200X-RTP-II

MTI

OTF-1200X-RTP-II è un forno a due zone di riscaldamento. zona di riscaldamento con tubo al quarzo da 11" di diametro esterno. È progettato per PVD o CSS (Sublimazione a distanza ravvicinata) fino a 3" di diametro o 2 "x2" quadrati. Il forno è riscaldato da due gruppi di riscaldatori alogeni (superiore e inferiore) separatamente con max. 20ºC/s. Sono integrati due regolatori di temperatura di precisione a 30 segmenti con una precisione di +/-1ºC. La porta RS485 e il software di controllo sono inclusi per consentire il funzionamento del forno e la registrazione dei profili di temperatura tramite PC. È uno strumento eccellente per la ricerca di film sottili di nuova generazione per celle solari, come CdTe, Solfuro e Perovskite celle solari. Può anche essere utilizzato come RTP per la ricottura di film sottili.

SPECIFICHE:
Struttura del forno e camera a vuoto
  • Un doppio riscaldatore, due regolatori di temperatura e due flussimetri di gas a due canali sono integrati in un telaio mobile in lega di alluminio.
  • La camera è realizzata in tubo di quarzo fuso di elevata purezza
  • Dimensioni del tubo di quarzo: 11" OD/10,8" ID x 9" H
  • Feltro in fibra di carbonio come isolamento termico
  • Le flange per il vuoto sono realizzate in acciaio inox 316
  • Dimensioni complessive: 850(L)×745(L)×1615(H) mm
Flange a vuoto
          
  • La flangia superiore con una porta per il vuoto KFD-25 e due uscite per il gas (è necessario un tubo da 1/4") può scorrere manualmente verso l'alto o verso il basso per caricare e scaricare facilmente il substrato e il materiale evaporato.
  • La flangia inferiore ha una porta per il vuoto KFD-25 con due ingressi per il gas (è necessario un tubo da 1/4") e valvole a spillo
  • La flangia è sigillata da doppi o-ring in silicone e può raggiungere una pressione massima di 10E-2 Torr con una pompa meccanica di qualità e 10E-5 Torr con una pompa molecolare. 
  • Il vacuometro digitale di precisione anti-corrosione è incluso nella confezione standard (Dal 2016.03.24).
Misuratori di flusso di gas
  • Sul pannello di controllo sono installati due contatori a galleggiante con un campo di misura di:
    • 16 -160 mL/m 
    • 400 - 4000 mL/m (per lo spurgo) 
Riscaldatore e portacampioni
  
  • Due lampade IR a onde corte come elementi riscaldanti per un riscaldamento rapido.
  • La distanza tra i due riscaldatori è regolabile da 10 a 50 mm.
  • I riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con una camicia fredda ad acqua per ridurre l'irradiazione di calore e consentire un rapido raffreddamento.
  • Porta wafer rotondo da 3 pollici è integrato con il riscaldatore superiore per caricare il substrato
  • È inclusa una piastra AlN ad alta conducibilità termica (3" di diametro x 0,5 mm di spessore), da posizionare sul retro del substrato per riscaldarlo uniformemente.
  • In alternativa alla piastra AIN è possibile utilizzare una piastra di grafite da 3"; per ordinarla, fare clic sull'immagine sottostante.
  • La sostituzione del riscaldatore a luce alogena è disponibile a un costo aggiuntivo. fare clic qui per ordinare.
Regolatore di temperatura
  • Due termoregolatori digitali di precisione con 30 segmenti programmabili offrono un controllo indipendente dei riscaldatori superiore e inferiore.
  • Ciascun regolatore è dotato di funzione di autotuning PID per proteggere i riscaldatori dal surriscaldamento e di funzione di allarme per evitare il surriscaldamento e la rottura della coppia termica
  • Interfaccia di comunicazione per PC e software installato 


Temperatura di lavoro
  • Temperatura massima per ciascun riscaldatore: <= 650ºC
  • Differenza massima di temperatura tra due riscaldatori: <= 300ºC dipende dalla distanza tra due riscaldatori:
    • Distanza 30 mm Differenza massima di temperatura: 315ºC solo per la parte inferiore del riscaldamento
    • Distanza 40 mm Differenza massima di temperatura: 350ºC @ solo fondo riscaldante
    • Distanza 50 mm Differenza massima di temperatura: 395ºC solo per il fondo di riscaldamento
Velocità di riscaldamento e raffreddamento
  • Riscaldamento: < 8ºC/s ( solo riscaldamento singolo )
  • Raffreddamento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Max.
Coppia termica Due coppie termiche di tipo K (esposte) sono installate sui riscaldatori superiore e inferiore separatamente
Tensione di lavoro 208 - 240 VCA, monofase, interruttore automatico da 20 A
Requisiti di potenza 2200W totali (1100W per ciascun riscaldatore)




Opzionale
  • È necessaria una pompa per il vuoto. Ordinarla separatamente facendo clic sulla prima immagine da sinistra in basso. Il livello di vuoto può raggiungere < = 10E-2 torr con pompa meccanica 
  • Se si utilizzano gas corrosivi, si consiglia di utilizzare una pompa a secco anticorrosiva, come mostrato nella seconda immagine da sinistra ( Pompa Pfeiffer dalla Germania ) con un costo aggiuntivo
  • È possibile ordinare separatamente un refrigeratore a ricircolo d'acqua per il risparmio delle fonti idriche
  • È possibile scegliere un sistema digitale di erogazione del gas MFC facendo clic sulla prima immagine da destra qui sotto
                       
Garanzia Un anno di garanzia limitata con supporto a vita (le parti consumabili, come il tubo al quarzo e le lampade di riscaldamento, non sono coperte dalla garanzia).
Conformità
  • Certificazione CE
  • La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta, si applicano costi aggiuntivi
Video del funzionamento            
Nota
     
  • I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi
  • Le pressioni sotto vuoto possono essere utilizzate in modo sicuro solo fino a 1000°C. La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM per ridurre gli shock termici al tubo..
Articoli di riferimento
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