Struttura del forno
| - Custodia in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria. La temperatura superficiale della custodia è < 70°C.
- Rivestimento isolante in allumina fibrosa refrattaria per il massimo risparmio energetico.
- Elemento riscaldante: filo di resistenza NiCrAl
- Sono inclusi due blocchi di tubi in ceramica fibrosa per bloccare la radiazione termica proveniente dal tubo interno.
- Flangia incernierata con raffreddamento ad acqua per facilitare il caricamento dei campioni
- Questo forno può essere utilizzato come forno di ricottura o di diffusione per wafer da 12" e utilizza una barchetta di quarzo
- L'attuatore elettrico del coperchio garantisce un'apertura facile e senza problemi
 |  |  |  | Schema della struttura
| Blocchi ceramici da 15"
| Supporto per wafer da 12" | Attuatore elettrico del coperchio | |
Zona di riscaldamento
| - Lunghezza totale della zona di riscaldamento: 900 mm
- Tre zone: 300 mm + 300 mm + 300 mm (900 mm in totale)
- Lunghezza della zona a temperatura costante: 600 mm (se le tre zone mantengono la stessa temperatura con una tolleranza di +/- 5°C)
- Tolleranza di temperatura della sezione trasversale: +/- 5 °C
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Temperatura di esercizio
| - Temperatura massima di riscaldamento: 1200 °C
- Velocità massima di riscaldamento e raffreddamento: 10 °C/min
- Elementi riscaldanti in SiC, per un totale di 36 pezzi
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Regolazione della temperatura
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Tre regolatori digitali con funzioni PID e di autoregolazione, programmabili su 30 segmenti. -
Termocoppie: tre termocoppie di tipo K (una per ogni zona)
Precisione di controllo: +/- 1 °C - Il software per il controllo tramite PC è disponibile come opzione (clicca sull’immagine a sinistra per ordinarlo)
- Il regolatore di temperatura Eurotherm è disponibile con una precisione di +/- 0,1 °C a un costo aggiuntivo
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Computer portatile, software (opzionale)
 | - Computer portatile nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) pronto all’uso.
- È disponibile il sistema di controllo della temperatura basato su LabVIEW (EQ-MTS01) che consente all’utente di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico e registrare e tracciare i dati per i forni MTI.
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Regolatori Eurotherm (opzionali)
| - Precisione della temperatura: ± 0,1 °C
- Un regolatore per zona di riscaldamento
- 1 programma da 8 o 24 segmenti per controllore
- Relè di allarme: Forma 'A' e Forma ‘C’ integrati
- Comunicazioni digitali: RS485
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Tubo al quarzo con
 fusibile
| - Tubo al quarzo con diametro esterno da 11" o 15" e lunghezza di 71" selezionabile tra le opzioni del prodotto
- Tubo di quarzo ad alta purezza; cliccare sull’immagine in basso a sinistra per visualizzarlo.
- Avvertenza: il tubo di quarzo è fragile, maneggiarlo con cura. La garanzia non copre la rottura del tubo dovuta all’uso
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Sigillatura sottovuoto e flangia
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Sono incluse una coppia di flange di tenuta sottovuoto in acciaio inossidabile (tipo a cerniera) e 4 O-ring in silicone resistenti alle alte temperature, al fine di raggiungere un livello di vuoto di 10^-2 torr tramite una pompa meccanica per impieghi gravosi. -
Flangia sinistra: valvole a spillo in acciaio inossidabile e raccordo per tubo flessibile dentellato da 1/4". -
- Sulla flangia destra è integrata una porta di inserimento per termocoppia con diametro esterno da 1/4" per facilitare la calibrazione della temperatura.
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| Opzioni
| - Il forno tubolare deve essere calibrato regolarmente per mantenere la precisione e l’uniformità della temperatura. Forniamo un semplice kit di calibrazione che consente di eseguire questa operazione a un costo aggiuntivo. Il kit di calibrazione completo include
- È possibile ordinare una pompa turbo per un alto vuoto fino a 10⁻⁵ torr (cliccare sull’immagine in basso a destra per ordinare)
- barche in quarzo di grandi dimensioni da 4'' a 8''
- Su richiesta, possiamo realizzare il forno in versione verticale.
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Tensione nominale
| - Trifase, 208 V CA, 50/60 Hz La versione trifase a 380 V è opzionale
- Max. 20 kW (è richiesto un interruttore da 70 A)
- Cavo di alimentazione AWG n. 6 incluso (senza spina)
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Dimensioni del prodotto
| 2000 L x 765 W x 1130 H, mm
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Peso netto
| 300 kg |
Dimensioni di spedizione
| 85" x 40" x 70" |
Peso di spedizione
| 1200 libbre |
Garanzia
| - Garanzia limitata di un anno sulle parti elettriche. (Le parti soggette a usura, quali tubi di trattamento, o-ring e tubi al quarzo, non sono coperte dalla garanzia)
- È possibile ordinare un tubo al quarzo di ricambio al link sottostante
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| Istruzioni per l’uso |  |
Nota
 | - I forni a tubo con tubi al quarzo sono progettati per l’uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar
- Attenzione: per garantire un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a un valore inferiore a 3 PSI. Clicca qui per scoprire come installare un regolatore di pressione del gas.
- Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni di vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000 °C
- La portata dei gas deve essere limitata a <200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo
- Per ottenere una misurazione accurata della temperatura all’interno del forno a tubo, è necessaria la calibrazione della temperatura prima dell’uso; clicca qui per saperne di più
- come configurare un tubo in ceramica e una flangia per il vuoto per un forno a tubo MTI
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