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LAOe76D05C2
LaAlO3, (110) Ori. wafer da 3" x 0,5 mm 2SP
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LaAlO3, (110) Ori. wafer da 3" x 0,5 mm 2SP
MTI
Specifiche del substrato:
- Dimensioni del wafer: 3" di diametro +/- 0,5 mm x 0,5 di spessore +/-0,05 mm
- Orientamento del wafer: (110) ±0,5 gradi
- Orientamento dei bordi: <100>
- Lucidatura: Lucidatura CMP senza danni sub-superficiali.
- Finitura superficiale (RMS o Ra): < 15A
- Confezione: In camera bianca di classe inferiore a 1000, in sacchetto di plastica di grado 100 all’interno di un contenitore per wafer.
- Costante di reticolo: a = 3,792 Å, reticolo pseudocubico
- Avvertenza: il cristallo di LaAlO₃ presenta un gemello visibile sulla superficie levigata; si tratta di un fenomeno naturale.
