LaAlO3, (110) orn. Lucidatura EPI 3" x 0,5mm wafer 1 SP --- MTI Special !!!-1

Specifiche del substrato:

• Dimensioni del wafer: 3" di diametro +/- 0,5 mm x 0,5 di spessore +/-0,05 mm
• Orientamento del wafer: (110) ±0,5 gradi 
• Orientamento del bordo: <001> ±1 grado con lunghezza di 20 mm
  
• Lucidatura: Lucidatura CMP senza danni sub-superficiali
  
• Finitura superficiale (RMS o Ra): < 15 A
• Confezione: In camera bianca di classe inferiore a 1000 e in sacchetto di plastica di grado 100 all’interno di un contenitore per wafer.
• Costante di reticolo: a = 3,792 Å, pseudo-cubico
• Avvertenza: il cristallo di LaAlO₃ presenta un gemello visibile sulla superficie levigata; si tratta di un fenomeno naturale.