Macchina per rivestimento a sputtering al plasma in glovebox con 3 teste di sputtering e alimentatori RF/DC - VTC-600-3HD-GB

Alimentazione

• 208-240 V CA, monofase, 50/60 Hz, 1500 W

Camera a guanti VGB-6

• Il sistema di purificazione di alta qualità garantisce livelli di O₂ e H₂O inferiori a 1 ppm
• Camera in acciaio inossidabile, 1200 mm (L) x 740 mm (P) x 900 mm (A)
• Porta anteriore incernierata per facilitare il caricamento di dispositivi e campioni
• Spurgo automatico per evacuare l’aria prima della purificazione a ricircolo
• Funzione di rigenerazione automatica
• Due anticamere per l’inserimento di campioni di
  grandi e piccole dimensioni

• Tre sorgenti di potenza per sputtering
  • Due sorgenti CC: potenza di 500 W per il rivestimento di materiali metallici 
  • Una sorgente RF: potenza di 300 W, frequenza di 13,56 MHz per il rivestimento di materiali non conduttivi

Testa di sputtering a magnetrone

• Tre teste di sputtering a magnetrone da 2" con camicie di raffreddamento ad acqua e otturatori
  • Due sono collegate alle sorgenti CC per i materiali metallici
  • Una è collegata alla sorgente RF per i materiali non conduttivi
  • Dimensioni del bersaglio: 2" di diametro con uno spessore compreso tra 0,1 e 5 mm
    
  • I target di sputtering sono opzionali
  • Ricetta di sputtering consigliata e consigli utili
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Camera a vuoto

• Camera a vuoto in acciaio inossidabile: Ø300 × 300 mm H
• Un oblò in vetro da 100 mm. 
• Flangia superiore incernierata per un facile accesso al campione
• Ecco una panoramica della camera a vuoto
  
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Tavolino portacampioni

• Supporto campione rotante e riscaldabile fino a 500 °C, Ø 140 mm 
• Velocità di rotazione: 1 - 20 giri/min
• Regolatore di temperatura
  programmabile a punto singolo

Controllo del gas e della portata

• Due regolatori di portata massica (MFC)
• Portata: 0 – 200 sccm
• calibrato con azoto
• Presa di sfiato da 1/4".

Stazione di pompaggio del vuoto

(Opzionale)

• Per bersagli sensibili all’aria, quali Al, Ti, Cr, ecc., o con pressione di base <1e-2 torr, si raccomanda l’uso di una stazione di pompaggio
• Pompa turbo. 
  • pompa turbomolecolare da 63 L/s, oppure
  • pompa turbomolecolare da 260 L/s
• Pompa di supporto
  • Pompa rotativa a palette da 240 L/min, oppure
  • pompa a spirale a secco
    da 200 L/min

Refrigeratore d’acqua

(Opzionale)

• È necessaria acqua refrigerata
• Si consiglia l’uso di un refrigeratore d’acqua a ricircolo con controllo digitale della temperatura
• Intervallo di refrigerazione: 5~35 °C
• Portata: 16 L/min
• Pressione della pompa: 14 psi

Misurazione dello spessore del film

(Opzionale)

• La microbilancia a cristallo di quarzo per la misurazione in situ dello spessore del film è opzionale. Precisione fino a 1 Å

Conformità

• Certificazione CE
• La certificazione NRTL è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo; si prega di contattare il nostro rappresentante commerciale per un preventivo.