Rivestitore compatto per sputtering a magnetrone in corrente continua con target in oro per il rivestimento di metalli nobili-VTC-16-D

Il VTC-16-D è un dispositivo da tavolo Magnetron da tavolo Rivestimento sputtering con testa da 2" e portacampioni regolabile in altezza. È stato progettato per il rivestimento a film sottile di metalli nobili (Au, Ag, Pt), in particolare per rivestimento film d'oro conduttivo sui campioni SEM. È incluso un bersaglio d'oro (4N) da 2". Per il lancio di metalli attivi, come Al, Mg, Zn, o bersagli di carbonio, si consiglia di prendere in considerazione il modello Coating sputtering magnetronico ad alta potenza o rivestimento per evaporazione termica

Caratteristiche	Rivestitore compatto per sputtering magnetronico, per il rivestimento di film di metalli nobili conduttivi su campioni SEM (Au, Ag, Pt) Uno bersaglio d'oro da 2" (4N) è incluso
Potenza	220 VAC 50/60Hz, 200W L'alimentazione a 110VAC è disponibile utilizzando un trasformatore da 1000 W (fusibile da 15 A). Il trasformatore è venduto separatamente
Testa di sputtering	Diametro 2 500 VDC 0 - 50 mA (max.) corrente di sputtering regolabile Protezione da sovracorrente Otturatore manuale per la pulizia pre-sputtering.
Tempo di sputtering	1 -120 secondi regolabile
Camera a vuoto	Tubo di vetro al quarzo, 165 mm OD. x 150 mm ID x 150 mm Altezza Per favore fare clic qui per ordinare la camera al quarzo di ricambio. Porta KF25 per pompa da vuoto.  La pressione finale è di circa 1 Pa tramite una pompa meccanica. (la pompa per vuoto è opzionale)
Vacuometro Pirani	Intervallo: 1e-4 - 1000mbar (1e-4 - 750 torr) Precisione: 1000 - 20mbar, 3% della lettura 20 - 0,002mbar, 2% della lettura Ripetibilità: 2% della lettura
Fase del campione	Diametro 2 regolabile in altezza, 25 - 70 mm dal campione al bersaglio
Pompa per vuoto (opzionale)	La pompa rotativa a palette a doppio stadio EQ-FYP è consigliata. A turbopompa È disponibile anche una turbopompa per raggiungere 1,0E-5 Torr
Ingresso gas	Un raccordo per tubo a compressione da 1/4" come ingresso del gas.  Una valvola di tenuta per regolare il tasso di perdita del gas Ar.
Obiettivo	Purezza 4N oro obiettivo è incluso e preinstallato. (50 mm di diametro x 0,12 mm             Sono disponibili anche altri obiettivi Bersaglio Au (50 mm di diametro x 0,12 mm, purezza 4N)  Bersaglio di Pt (50 mm Dia. x 0,12 mm, purezza 4N)   Bersaglio Ag (50 mm Dia. x 0,5 mm, purezza 4N)
Dimensioni e peso del prodotto	500 mm (L) × 350 mm (L) × 550 mm (H) 20 kg
Peso e dimensioni di spedizione	80 libbre 45" x 45" x 40"
Istruzioni per l'uso
Conformità	Certificazione CE La certificazione NRTL NON è temporaneamente disponibile.
Garanzia	Garanzia limitata di un anno. I materiali di consumo non sono coperti.
Note applicative	Per utilizzare il riscaldatore sputtering all'interno della scatola a guanti, il controller e la base del riscaldatore devono essere separati. (Fig. 1) Per i metalli attivi, come Al, Mg, Zn o il bersaglio di carbonio, si consiglia di utilizzare il nostro forno di sputtering magnetronico ad alta potenza (Fig. 2) o il forno di evaporazione termica. (Fig. 3)   Fig. 1 Foto. 2  Figura 3 3