Verniciatore ad evaporazione in Glovebox per wafer da 4" con 3 crogioli e controllo della temperatura - VTC-EV3-GB

• La camera a vuoto al quarzo (P.O. 280 x P.I. 260 x H310 mm) è installata sul fondo della camera a guanti per la manipolazione di materiali sensibili all'aria. 
• Supporto del campione ruotabile da 4" Dia con altezza regolabile di 90 mm per il rivestimento uniforme del film
• Riscaldatore a bobina in tungsteno e crogiolo in allumina per il rivestimento ad alta temperatura fino a 1700 ºC
• Controllo di precisione della temperatura con 30 segmenti programmabili e accuratezza di +/- 1 ºC
• Possibilità di ottenere un alto vuoto fino a 1,0E-5 Torr tramite turbopompa opzionale
• La scatola a guanti è dotata di un sistema di purificazione per garantire che l'ossigeno e l'umidità siano inferiori a 1 ppm ) Fare clic su sottolineato per vedere le specifiche dettagliate )

• Verniciatore ad evaporazione
• Tensione di ingresso: AC110 V 50/60 Hz, monofase
• Potenza d'ingresso: 1.200 W (solo per la torre di verniciatura)
• Potenza di uscita: 12 V e 30 A di corrente massima. Corrente di lavoro consigliata <30 A
• Cassetta portaoggetti:
• Tensione di ingresso: AC110 V 50/60 Hz, monofase
• Potenza d'ingresso: 1.500 W (solo per la torre di verniciatura)

• Sono inclusi tre crogioli di evaporazione in allumina da 3 mL con bobina in tungsteno 
• Tre sorgenti possono essere riscaldate una alla volta per ottenere un rivestimento multistrato 
• 3 pezzi termocoppia di tipo B (installata in ogni crogiolo) - riscaldamento da 200 ºC a 1700 ºC (PIC. 1-2 )
• Un regolatore di temperatura digitale con 30 segmenti programmabili e precisione di +/- 1 ºC (PIC. 2)
• Si consiglia di limitare la velocità di riscaldamento/raffreddamento a 0,3 ºC/s (o 20 ºC/min) al di sotto dei 1200 ºC e a 0,15 ºC/s (o 10 ºC/min) da 1200 a 1700 ºC.

• Sulla flangia superiore è installato uno stadio campione ruotabile da 4" e il relativo otturatore per il rivestimento di un wafer da 4".
• Velocità di rotazione: 5 rpm
• La distanza tra il supporto del campione e la sorgente di evaporazione è regolabile da 40 mm a 90 mm
• Un supporto per campioni d'acqua è disponibile a un costo aggiuntivo ( è necessario un refrigeratore d'acqua a ricircolo )

• Quarzo preciso Monitoraggio dello spessore del film opzionale, utilizzato per la misurazione dello spessore in situ. Precisione fino a 1Å (Fig. 1)
• Precisione Sistemi di analisi per film sottili e rivestimenti - TFMS-LD è disponibile con un costo aggiuntivo, fare clic sulla foto 2 per i dettagli.

• La porta per il vuoto del KF40 è installata per il collegamento a una pompa per il vuoto.
• Il vuoto può raggiungere <1E-5 Torr pompando durante la notte con la turbopompa opzionale.
• Per il rivestimento è necessaria una pompa per vuoto. Scegliere tra le seguenti opzioni di prodotto
• Pompa per vuoto rotativa a palette a doppio stadio con trappola per vapore per eliminare la nebbia d'olio, in grado di raggiungere un vuoto fino a 1,0E-2 Torr per l'evaporazione di materiali metallici nobili, come oro, argento e materiali organici. Anti-Corrosiva, il misuratore a membrana capacitivo è incluso.
• Sistema di pompa per vuoto turbomolecolare compatto è in grado di fornire un livello di vuoto fino a 1,0E-5 Torr per l'evaporazione di materiali sensibili all'ossigeno, come Al. Mg, Li, ecc. La pompa include un misuratore combinato Pirani e un misuratore a catodo freddo per misurare il vuoto fino a 1,0E-8 Torr.

• Il raccordo per tubo da 1/4 è integrato per lo spurgo della camera o per il trattamento del gas di formazione.
• Una valvola a spillo è incorporata per controllare la portata del gas

• Extra crogiolo di allumina e riscaldatore a bobina di tungsteno possono essere ordinati facendo clic sulle immagini sottostanti.

• Certificato CE
• La certificazione NRTL e CSA è disponibile su richiesta

SPC2-ARSC